Occasion SPEEDFAM 24GPAW #293635730 à vendre en France
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SPEEDFAM 24GPAW est un équipement efficace et performant pour le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes. Il est conçu pour le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes semi-conductrices jusqu'à 200 mm de diamètre, en une seule opération ou en plusieurs étapes. Le système est hautement automatisé et comprend une unité de manutention automatique unique et intégrée des plaquettes. Le processus de broyage, de nappage et de polissage commence par le broyage de la surface de la plaquette. Cela peut être fait soit par une meuleuse in situ, soit par une table de meulage standard. La table de meulage est équipée d'une meule rotative à grande vitesse qui est utilisée pour réduire la surface de la puce. Une fois que la surface est correctement coupée, l'affinage interne commence à éliminer d'autres contaminants de particules pour améliorer la finition de la surface. L'affinage interne peut être fait en ligne ou hors ligne et peut être ajusté en détail en fonction des besoins de l'application. Après broyage, le procédé de rodage est utilisé pour lisser et affiner la surface. Le rodage est généralement fait avec un film de rodage en diamant qui est fixé sur une surface plane. La plaquette est placée sur la plaque de nappe et est soumise à une combinaison de lubrifiant, de cristaux de diamant et de pression d'air. Ce procédé rajeunit efficacement la surface de la plaquette. Une fois le processus de rodage terminé, le processus de polissage est utilisé pour réduire la rugosité de la surface et éliminer d'autres contaminants de particules de la surface de la plaquette. Le procédé de polissage utilise généralement une roue tournante de polissage chargée d'un composé abrasif. Ce composé est ensuite soumis à une pression et à une action mécanique conduisant à une finition lisse et peu rayée. Le procédé est encore optimisé par la technologie de polissage assistée par ultrasons SPEEDFAM, qui améliore le taux de succès du procédé de polissage. SPEEDFAM 24 GPAW est un outil efficace, efficient et automatisé qui combine les processus de broyage, de rodage et de polissage en une seule unité. Cela contribue à rendre le processus plus fiable et améliore la précision et la qualité de la plaquette finie. C'est un atout idéal pour toute ligne de production de plaquettes.
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