Occasion SPEEDFAM 30B-5P-2M-N #9410061 à vendre en France
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SPEEDFAM 30B-5P-2M-N est un équipement de broyage, de nappage et de polissage à clé tournante très précis et fiable pour la production de surfaces planes et parallèles sur une variété de matériaux semi-conducteurs. Le système dispose d'une configuration de course 5 axes avec un extracteur PoliPol intégré et une station d'épuration/évaluation intégrée. L'unité comprend une table tournante avec une seule butée d'indexation à 180 degrés, assurant une stabilité de position et permettant à l'opérateur de changer rapidement d'outil. Les trois chambres de processus - deux meulages et un polissage - sont équipées de deux serrures de charge avec chaque serrure de charge d'une capacité de 150 kg et d'une station d'évaluation de taille unique. La chambre de broyage comporte deux 75 pouces. mâchoires 3 mâchoires et deux broches de broyage 3 I.D. capables de vitesses de courant unidirectionnelles jusqu'à 8500 tr/min. Les broches sont montées sur un effecteur d'extrémité motorisé en porte-à-faux qui se déplace sur la surface supérieure de la plaquette tout au long du processus de broyage. Les broches disposent chacune d'un moteur sans brosse pour un mécanisme qui réduit les vibrations, ainsi que le contrôle de vitesse sans pas pour des vitesses de broche variables. La chambre de polissage contient un mandrin à vide pour le polissage de portions du revers de la plaquette. La broche est un moteur couple sans brosse avec une tourelle coulée pour réduire le transfert de chaleur de l'échantillon au moteur. La tourelle est réglable depuis le bas, ce qui permet à l'opérateur de régler la vitesse. 30B-5P-2M-N est une machine avancée de rectification et de polissage qui est conviviale, avec un écran tactile couleur, offrant une configuration graphique, l'affichage et l'analyse des données du processus de rectification et de polissage. Cet outil comprend également une fonction de sauvegarde/récupération d'informations de paramètres ainsi qu'une opération de démarrage/arrêt automatique. Avec ses différentes vitesses, tailles et configurations, SPEEDFAM 30B-5P-2M-N est l'atout idéal pour une large gamme de buts industriels et de recherche.
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