Occasion SPEEDFAM 36 DPAW #9287360 à vendre en France
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SPEEDFAM 36 DPAW est un équipement de broyage, de rodage et de polissage entièrement automatisé conçu par SPEEDFAM et fabriqué par SPEEDFAM Precision Technologies. Il est capable de produire des plats ultra-finis et des angles sur des matériaux diélectriques, magnétiques, fragiles et céramiques. 36 DPAW est un système de table oscillante conçu pour le traitement de pièces de taille wafer. L'unité utilise une technologie basée sur la course permettant une précision de processus élevée et la qualité de finition. La table oscillante fonctionne sur un cycle breveté « Z-duty » à travers deux étapes de coupe et une étape de polissage. Il fournit des conditions de processus stables tout au long du processus de polissage, assurant des résultats de processus uniformes. La conception de SPEEDFAM 36 DPAW se compose d'un mandrin de maintien indexé pour le positionnement précis de la table de la pièce, et de trois postes de travail distincts pour le broyage, le rodage et le polissage. Le mandrin de maintien est conçu pour accueillir des pièces de substrat de la taille d'une plaquette, à la fois plates et inclinées. Le poste de broyage applique un milieu de broyage tel que le diamant ou le nitrure de bore cubique (CBN) sur la surface du substrat, afin de couper et d'enlever du matériau du substrat. Le poste de rodage suit le poste de broyage et applique une combinaison de carbure de silicium (SiC) et d'abrasifs diamantés sur le substrat afin de découper et d'enlever encore du matériau du substrat. Enfin, le poste de polissage applique une solution - telle que l'alumine - sur le substrat pour l'amener à son état de surface désiré. 36 DPAW dispose également d'une interface graphique télécommandée et adaptée à l'opérateur, qui lui fournit des diagnostics de fonctionnement et une surveillance des processus. En outre, la machine est livrée avec une unité de contrôle de température très précise, fournissant des processus de broyage, de nappage et de polissage stables à la température. L'unité de contrôle de la température est également capable de surveiller la configuration des plaquettes et de traiter les conditions du chanfrein. Dans l'ensemble, SPEEDFAM 36 DPAW est un outil efficace et précis de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour l'usinage précis et la microfabrication de pièces de taille de plaquettes. C'est un atout hautement automatisé avec une intelligence intégrée pour des cycles de processus efficaces, ainsi que des capacités de contrôle et de surveillance de la température.
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