Occasion SPEEDFAM 36 GPAW #9287337 à vendre en France
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SPEEDFAM 36 GPAW est un équipement entièrement automatisé et programmable de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour le broyage, le rodage et le polissage de bords plats et inclinés de plaquettes dans un processus de serrage unique. SPEEDFAM 36GPAW est un système de pointe qui allie robotique avancée, haute précision et contrôle de processus supérieur pour fournir des opérations de broyage, de rodage et de polissage des bords de plaquettes d'une fiabilité et d'une qualité inégalées. 36 L'unité GPAW est composée de modules multiples. Le module de serrage chargé par robot se compose d'un bras robotique automatisé et d'une machine de serrage, assurant un chargement rapide et précis des plaquettes sur la meule. Le module de rectification arrière comprend un outil de serrage de précision et une meule pour broyer de façon fiable la surface arrière de la plaquette. Le module de rectification des bords comprend des positionneurs automatiques pour positionner avec précision la plaquette de rectification et s'assurer que tous les bords sont précisément broyés, nappés et polis. Le module de nappage/polissage utilise une table rotative de haute précision, à commande électronique, ainsi qu'un rail de vitesse réglable pour positionner avec précision les plaquettes sur le plateau de nappage/polissage. Le module de rectification et de polissage du dos comporte une cartographie de contour intégrée, garantissant la meilleure qualité de profil de bord possible. 36GPAW comprend également un modèle automatisé d'inspection de qualité pour vérifier la qualité du produit fini. SPEEDFAM 36 GPAW offre un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires, dont la traçabilité des processus, les capacités de contrôle statistique des processus (SPC), les centres de travail programmables et une interface intuitive de contrôle tactile. Il est adapté à toutes les applications de traitement des semi-conducteurs, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, MEMS/MOEM, la fabrication de plaquettes de pointe, et la technologie des couches minces. L'équipement est conçu pour offrir des performances supérieures avec une combinaison impressionnante de précision, de répétabilité et de débit maximal. L'automatisation avancée fournie par SPEEDFAM 36GPAW garantit des résultats reproductibles aux plus hauts niveaux de qualité, tandis que les contrôles de processus avancés garantissent la fiabilité et la répétabilité pour une fabrication à haut volume et des exigences de production exigeantes.
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