Occasion SPEEDFAM 5B-7L #9276666 à vendre en France
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SPEEDFAM 5B-7L est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir des solutions de traitement de haute précision pour des applications telles que la photonique, le MEMS, les dispositifs médicaux et d'autres produits à micro-échelle. Le système offre un moyen efficace de traiter les CMP et les substrats semi-conducteurs. Il est composé de 4 composants principaux : unité de broyage, unité de nappage, unité de polissage et unité de vide et de douche. L'unité de broyage est un 5-axes avancé avec des mouvements de grande précision, lui permettant d'atteindre une précision de sous-micron pour les surfaces de plaquettes. Il peut être utilisé avec deux types de meules - diamant et CBN - et utilise jusqu'à deux moteurs indépendants, assurant une structure lisse et cohérente de la surface de la plaquette. L'unité est également équipée d'une fonction de commande automatique de puissance réglable, qui annule le mouvement inégal de l'axe de meulage dû au déséquilibre des roues. L'unité de nappage est conçue pour les nappes cylindriques et planes. Alors que les pierres abrasives sont utilisées pour contrôler le processus de rodage, une large gamme de boues abrasives est disponible pour répondre aux exigences du processus de rodage pour une variété de substrats. L'unité de rodage dispose également d'un réglage automatique de la vitesse de la meule, offrant un contrôle précis des paramètres de rodage et fournissant la plus grande précision possible et la finition de surface. L'objectif principal de l'unité de polissage est d'obtenir une finition brillante et de haute qualité sur la surface de la plaquette en utilisant une variété de matériaux et de techniques de polissage. Différents types de méthodes de polissage - comme la dispersion du lisier, le tamponnage et le conditionnement du tampon - peuvent être combinés pour obtenir les résultats souhaités. Enfin, la machine à vide et à douche est chargée de nettoyer l'ensemble de la plaquette pendant le traitement en enlevant les débris générés par tous les processus de broyage, de nappage et de polissage. Une seule source de dépoussiérage est utilisée, ce qui réduit considérablement le besoin d'entretien. L'outil bénéficie de capacités d'aspiration efficaces et élimine rapidement les particules de poussière sans dégrader la performance de l'ensemble de l'actif. 5B-7L est un excellent choix pour tous ceux qui cherchent une solution à leurs exigences de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes, offrant une précision inégalée et des taux de production haut de gamme. En utilisant toutes ces différentes caractéristiques et composants, le modèle est en mesure de fournir des produits d'excellente qualité.
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