Occasion SPEEDFAM 9B-5 #293798806 à vendre en France
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ID: 293798806
Lapping machine
(3) Motor systems
Plate type: Stainless steel
Plate flatness: Within 5 Microns
MITSUBISHI PLC With touch screen
Power supply: 380 V, 3 Phase.
SPEEDFAM 9B-5 est un système de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes produit par SPEEDFAM Corporation. Il est conçu pour assurer un polissage des plaquettes de haute précision et une uniformité pour les procédés automatisés de fabrication de semi-conducteurs. 9B-5 a sept têtes de processus, y compris les têtes de broyage, de rodage et de polissage, qui tournent à des vitesses précisément régulées. La tête de meulage de type disque utilise une roue abrasive diamantée tournante et un moteur planétaire pour obtenir des vitesses de meulage/polissage plus élevées et de meilleurs résultats de finition de surface. La plaquette est maintenue fermement entre les deux têtes, tandis que le disque de meulage et l'engrenage planétaire tournent à RPM programmé, mettant la plaquette en contact avec la meule. La tête de nappe est équipée d'une roue à lames oscillante et d'un système de contrepoids, afin de fournir des nappes plus efficaces et plus précises que les systèmes rotatifs classiques. La roue dentée est réglable à la fois en vitesse et en vitesse de course, ce qui permet un contrôle précis du processus. La roue dentée utilise également un abrasif diamant pour assurer des résultats cohérents et une grande précision. Les têtes de polissage constituent la dernière étape du processus, assurant le plus haut niveau de finition de surface. La tête de polissage SPEEDFAM est conçue pour accueillir différentes tailles et épaisseurs de plaquettes. La tête utilise un patin oscillant et un engrenage planétaire pour fournir la plus grande précision et précision. Pour de meilleurs résultats, la tête est conçue pour tourner à des vitesses précisément régulées. SPEEDFAM 9B-5 est conçu pour la production de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de haute précision. Il a une conception modulaire, permettant l'ajout de plusieurs têtes de processus et offrant une plus grande flexibilité. Le système utilise également des outils de mesure numériques avancés et des systèmes électroniques/mécaniques contrôlés par ordinateur, afin d'assurer une précision et une répétabilité élevées. Dans l'ensemble, 9B-5 offre des performances optimales de traitement des plaquettes, y compris un broyage et un rodage efficaces, un polissage de haute précision et des finitions de surface uniformes.
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