Occasion SPEEDFAM 9B-5L #9143836 à vendre en France
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ID: 9143836
Style Vintage: 1999
Lapper / Polisher
(2) Variable frequency drives
(3) Motors:
Main drive
Sun gear (Reversible on control panel)
Vertical sun and ring gear elevation adjust
320 Grit SiC
Main plate 10HP VFD with no lapping hours
Sun gear motor & VFD: 3HP
Stainless cover
Electrical panel devices with VFD (Variable frequency drive)
Common to lap & polish:
Substrate material
Cylinder pressure
Flatness of plates
Plate material
Conditioning of plates
Carrier thickness
Carrier material type
Target surface finish
Lap:
Grit material
Grit shape
Grit size
Grit size tolerance (Vendor dependent)
Grit carrier solution, mixing or grit suspension
Grit pump rate
Polish:
Substrate flatness prior to polish
Slurry material
Slurry pump rate
Pad material
Pad type
Processing materials:
Aluminum nitride (AlN)
Beryllium oxide (BeO)
Coorstek superstrate (Al2O3)
Does not include:
Slurry delivery system
1999 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de précision, conçu pour des applications nécessitant un débit et une uniformité élevés. Avec un système avancé de broyage à deux étages, SPEEDFAM 9B5L offre un broyage rapide, cohérent et simultané des substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre. Une unité de polissage embarquée offre une uniformité supérieure des résultats de polissage plus rapide que les machines de polissage multi-étapes traditionnelles. La machine d'oscillation unique, qui entraîne le processus de broyage abrasif de la ceinture, assure le contrôle ultime de la force de polissage, de la vitesse et du bon fonctionnement des machines. 9 B-5 L dispose d'un rouleau d'entraînement sans zone morte, d'une base d'outillage légère et résistante à la corrosion et d'une structure innovante de support à double essieu pour la rigidité d'application. La configuration à deux étages offre des résultats de broyage et de rodage rapides et uniformes en une seule passe, même avec des contours de pièces complexes. De plus, sa configuration de non-resplication élimine la nécessité de remplacer les courroies abrasives en fonctionnement, ce qui augmente le débit et la cohérence de travail. Pour un fonctionnement propre et efficace, SPEEDFAM 9 B-5 L comprend un outil complet de suivi des processus avec rétroaction en temps réel et contrôle automatisé des processus. L'interface graphique intuitive homme-machine (HMI) de la machine met des paramètres de processus critiques pour contrôler les résultats de broyage, de rodage et de polissage dans un seul écran pour un accès facile. La navigation conviviale du menu permet aux utilisateurs de définir rapidement des paramètres de traitement et d'optimisation des processus. Le modèle unique d'épuration de l'air de l'actif crée un flux d'air propre pour réduire les particules de poussière et d'autres débris, assurant un fonctionnement propre et sûr dans l'environnement de production. Le niveau de bruit a été réduit de plus de 80 % avec l'isolation acoustique intégrée à la machine pour un fonctionnement à faible bruit. 9B5L offre une technologie de pointe combinée à des performances supérieures, permettant des solutions de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de haute qualité pour des applications industrielles. Il peut être utilisé pour des applications à deux faces et à une face, comme pour des panneaux de cellules solaires, pour des applications de haute précision. Sa portabilité, sa flexibilité, son contrôle automatique des processus et d'autres fonctionnalités avancées le rendent idéal pour une grande variété d'applications de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes dans les secteurs de la photonique, des semi-conducteurs et des dispositifs médicaux.
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