Occasion SPEEDFAM 9B-5P #9352976 à vendre en France

SPEEDFAM 9B-5P est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes capable de finir divers substrats tels que le silicium, le SiGe, le III-V et les films monocouche ou multicouche à une gamme de spécifications de planéité, de parallélisme et de finition de surface jusqu'alors inaccessibles avec les méthodes classiques. Le système est construit sur un plateau porteur qui se compose de deux plaques et d'un plateau supérieur pour tenir l'échantillon de plaquette. L'air comprimé fourni à trois vannes régulatrices contrôle le débit d'alimentation et le débit d'habillage de l'échantillon de plaquette. Une roue en diamant est utilisée pour broyer l'échantillon de plaquette et un mécanisme d'alimentation croisée fournit la pression requise pour le broyage. Un mécanisme de sélection de type stylet est utilisé pour sélectionner les paramètres de broyage, de rodage et de polissage en fonction du substrat de plaquette en cours de traitement. L'unité est équipée d'une machine à napper à pression constante et d'un outil de polissage refroidi à l'eau qui assure une finition cohérente sur la surface de la plaquette. L'actif dispose également d'un mécanisme de traversée de type détection de position permettant la correction et le réglage de la pièce. 9B-5P est également équipé d'un modèle de rétroaction optique en boucle fermée qui peut surveiller en permanence le processus de broyage et de polissage. Ceci assure une finition cohérente avec des résultats reproductibles pour chaque lot d'échantillons de plaquettes. SPEEDFAM 9B-5P est bien adapté pour les fabricants de semi-conducteurs et de dispositifs optiques qui doivent atteindre un niveau élevé de planéité et de finition de surface pour leurs composants et qui peuvent ne pas avoir les ressources pour investir dans un équipement de polissage à grande échelle.