Occasion SPEEDFAM DSM 16B-5P-V #9148494 à vendre en France
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ID: 9148494
Style Vintage: 2003
Double side polisher
Process: CMP
Capacity(4" Wafer): 4” 40, 6” 20 pcs
Carrier: M3 x Z142 x 5Piece
Upper platen: Φ1154 x Φ364
Lower platen: Φ1154 x Φ364
Plate thickness: Upper 50mm, lower 50mm
Rotation speed
Lower plate 10~60min-¹
Ring gear 5~30min-¹
Sun gear 5~30min-¹
Gease pump: Lube GAS-16-40
Speed controller: SMC AS205IF-06N
Air cylinder: SMC CM2C25-25
Check V/V: SMC AK-4000-02
Pressure switch: CKD P4000-8-IS17
Control panel: 067V103-99
Power unit: A1S61PN
Sequencer CPU: Q2A2CPU
Inverter
(2) FR-A520-15K
FR-A520-1.2K
Speed meter: MITSUBISHI A500
Noise filter: TDIC ZMB2203-11
Load cell: TEAC TC-10F
Air Supply: 0.55~0.6Mpa 60NL/min-¹ ¢3/8Tube
Water Supply: 0.15Mpa 20L/min¢12 Tube
Drain: Φ89
200V, 3P 50/60Hz
2003 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5P-V Wafer Broyage, Lapping and Polishing Equipment est un système de pointe conçu pour broyer, napper et polir efficacement une grande variété de substrats et de plaquettes. Il utilise une plate-forme CNC 4 axes à vitesse variable pour fournir des paramètres de broyage précis et précis, pour produire des plaquettes avec une finition de haute qualité. DSM 16B-5P-V est une plate-forme de 16 pouces qui est conçue pour broyer avec précision et précision, napper et polir une variété de plaquettes. Il dispose de cinq plateaux commandables indépendamment, d'un chariot de nappage haute pression, d'une chambre haute pression et d'un axe intégré de roulement à air, lui donnant la possibilité de broyer, napper et polir jusqu'à cinq plaquettes simultanément. L'unité est capable de broyer, tapir et polir jusqu'à 500 um de particules abrasives diamantées ultra fines à une vitesse allant jusqu'à 400 tr/min. La machine peut également accepter divers autres substrats abrasifs pour des finitions fines et grossières. Le moteur à vitesse variable de l'outil garantit que le processus de broyage, de rodage et de polissage est toujours précis et précis. SPEEDFAM DSM 16B-5P-V est conçu pour fonctionner dans une gamme de conditions incluant la température, l'humidité et les vibrations, et peut être calibré pour répondre aux applications les plus exigeantes. Il bénéficie également de plusieurs systèmes mécaniques pour la sécurité, dont un outil de sécurité multi-points et un mode de production automatique pour garantir une précision maximale et des résultats de haute qualité cohérents dans le temps. DSM 16B-5P-V intègre également la technologie de diagnostic informatisée la plus avancée pour fournir une analyse détaillée des performances des modèles. L'équipement de diagnostic est capable de déterminer la cause des erreurs ou des défauts qui se produisent et peut alerter les opérateurs sur les problèmes de maintenance du système. Cela aide à s'assurer que le produit est performant à l'efficacité maximale tout en aidant à prévenir les réparations coûteuses ou les temps d'arrêt. L'unité fournit également une rétroaction en temps réel aux opérateurs leur permettant de suivre l'avancement des opérations de rodage et de polissage. En résumé, SPEEDFAM DSM 16B-5P-V est une machine de broyage, de nappage et de polissage très avancée et précise. Il permet le traitement d'une grande variété de substrats et de plaquettes avec une finition encore plus fine que ce qui serait normalement possible avec les méthodes et machines classiques. Cela garantit que le produit fini est de la norme la plus élevée pour une grande variété d'applications.
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