Occasion SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll #9224691 à vendre en France
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ID: 9224691
Style Vintage: 2003
Double side polisher
Polisher: SUS (Stainless)
(3) Motors
Touch screen
Internal gear: PCD φ1079.5 (DP12 x Gear Z510)
Sun gear: PSD φ613.8 (DP12 x Gear 290)
(10) Carriers: DP12 x Z108
Machine surface: (Upper & lower platen)
φ1056.8 x φ636.6
Platen thickness:
Upper: 65 mm
Lower: 50 mm
Revolution: Lower platen 10~60m i n -1
Internal gear: 5~30m i n -1
Power: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz
2003 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour la finition de surface de précision avancée et la caractérisation de plaquettes sur un large éventail de matériaux. Ce système offre un niveau supérieur de rugosité et de précision de surface, offrant un haut niveau d'uniformité de surface, de finition de surface et de microstructure. L'unité intègre de nombreuses technologies pour permettre des capacités supérieures de broyage, de rodage et de polissage jusqu'à 300mm de plaquettes de silicium et de semi-conducteurs composés ou plus. La machine elle-même se compose d'une broche de broyage, de rodage et de polissage, d'un chargeur à deux niveaux à bras unique, d'un outil de balayage optique galvanométrique à trois axes, d'un contrôleur de haute fréquence avancé et d'un ensemble de logiciels. La broche se compose de deux meules et d'une roue de polissage avec une plage de vitesse réglable de 500 à 3000 tr/min, ce qui permet de rectifier et de tapisser de nombreux types de plaquettes, ainsi que d'obtenir une finition de surface précise. Le chargeur peut tenir deux plaquettes ; au fur et à mesure que l'un est traité, l'autre est préparez pour le chargement. L'actif de balayage optique traque et compense les défauts de forme ou de surface des plaquettes pour assurer un broyage, un tapis et un polissage cohérents et de haute précision. L'inverseur haute fréquence avancé contrôle la puissance de la broche pour assurer la qualité et l'uniformité de la finition de surface, minimisant la contrainte et les vibrations. Les composants logiciels du modèle DSM 9B-10P-lll fournissent une interface utilisateur intuitive pour simplifier le fonctionnement quotidien de l'équipement. Il dispose de fonctions d'inspection et d'analyse en temps réel, de mesures automatiques in-process et post-process, d'algorithmes avancés de contrôle des processus, de fonctions de cartographie 3D et de systèmes de diagnostic des défauts. De plus, le système peut être intégré avec des modules de chargement et de déchargement automatisés, des systèmes d'automatisation de processus et des applications logicielles personnalisées. Dans l'ensemble, SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll est un outil puissant pour amener la technologie de finition de surface des plaquettes au niveau supérieur. Ses fonctionnalités avancées, ses capacités polyvalentes et son interface utilisateur intuitive le rendent exceptionnellement bien adapté aux besoins de la recherche et des opérations industrielles.
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