Occasion SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV #9191611 à vendre en France
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ID: 9191611
Style Vintage: 2000
Double sided lapping system
Without wafer position correcting carrier
Includes:
Sizing apparatus
Slurry tank unit
Pump
2000 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système se compose d'une plate-forme intégrée qui comprend quatre stations de traitement, un processeur informatique, un centre de contrôle utilisateur et une unité de traitement des plaquettes. Cette machine est conçue pour être simple à utiliser, opérationnelle et efficace. Chaque station de traitement est équipée de son propre outil de contrôle avancé et peut être exécutée indépendamment ou à l'unisson. Les quatre postes de traitement comprennent les têtes de broyage primaires, les têtes de nappage et les têtes de polissage. Les têtes de broyage primaires sont des broches à grande vitesse qui utilisent des particules de milieu abrasif pour broyer les plaquettes en différents profils ou formes. Ces têtes sont également capables d'appliquer une fine couche de pâte de diamant sur la surface de la plaquette. La deuxième station de traitement comprend une série de têtes de rodage qui utilisent de la pâte de diamant pour couler doucement la surface du substrat afin de créer un motif de grain précis. La troisième station de traitement est équipée de têtes de polissage pour affiner la surface de la plaquette et réduire les imperfections. Cette station utilise un support de polissage pour éliminer les petites imperfections de surface ainsi que les débris de broyage restants. Le quatrième poste de traitement est utilisé pour le polissage final de la surface de la plaquette en utilisant un support de post-traitement ou de finition. L'actif de contrôle sophistiqué permet aux utilisateurs de programmer et de surveiller l'ensemble du processus du début à la fin. Ce modèle comprend également un processeur informatique qui peut stocker les données et les paramètres de l'utilisateur pour les processus de répétition rapide. Le centre de contrôle de l'utilisateur comprend un écran tactile pour un fonctionnement facile, ainsi qu'une interface utilisateur intégrée pour la programmation et la surveillance des processus de broyage, de rodage et de polissage. Enfin, l'équipement comprend un système de manutention des plaquettes pour transférer les plaquettes d'une station à l'autre sans aucune manutention manuelle. Ce processus automatisé réduit le temps, le coût et les erreurs associés au transfert manuel. En conclusion, SPEEDFAM DSM9B-5L-IV est une unité très avancée qui peut être utilisée pour le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes de précision. La machine se compose de quatre postes de traitement, d'un centre de contrôle et d'un outil de manutention de plaquettes. Cet atout est conçu pour une production efficace et performante tout en garantissant des résultats de processus reproductibles.
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