Occasion SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42 #9073040 à vendre en France
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ID: 9073040
Style Vintage: 1986
Lapper / Polisher
(3) Motors with plate
1986 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système est capable d'usiner avec précision des plaquettes jusqu'à une taille de 5 mm d'épaisseur. L'unité est conçue pour effectuer avec précision les opérations de broyage, de nappage et de polissage sans endommager les bords de coupe des plaquettes et les films minces. La machine se compose des éléments suivants : la base de l'instrument, le moteur à vitesse variable, l'entraînement à fréquence variable, la bande abrasive, les plaquettes de broyage en caoutchouc, la pâte à laver et les plaquettes de polissage. La base de l'instrument est composée d'un cadre rigide en acier, construit avec des composants résistants aux vibrations, et conçu pour minimiser la dilatation thermique. Un moteur à vitesse variable avec une vitesse maximale de 4000 tr/min et une fréquence de 10 Hz est utilisé pour entraîner la ceinture abrasive. Le variateur de fréquence est utilisé pour contrôler la vitesse et la direction du moteur, et pour assurer un fonctionnement commandé par ordinateur. La bande abrasive est construite en un matériau souple et est conçue pour enlever le matériau excédentaire de la plaquette sans l'endommager. Les plaquettes de broyage en caoutchouc souple sont utilisées pour abrader la surface de la plaquette et la préparer pour le polissage. Une pâte à laver est utilisée pour créer une finition de surface lisse et améliorer la clarté de la surface. Enfin, des tampons de polissage sont utilisés pour amener la surface de la plaquette à une finition miroir. L'outil DSM 9B-5SSG-42 est capable d'obtenir une planéité maximale de surface et une douceur de 5 et 2 micromètres (µm) respectivement. Cet actif est capable de terminer le processus de préparation de surface en une fraction du temps comparé aux alternatives manuelles. De plus, l'opération pilotée par ordinateur garantit des résultats cohérents et le modèle peut être facilement calibré pour tenir compte de tout changement dans la composition de la plaquette ou les paramètres du processus. En tant que telle, SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42 est une solution idéale pour la préparation de plaquettes de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs.
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