Occasion SPEEDFAM JND 9B-5P-IV #9166274 à vendre en France
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ID: 9166274
Style Vintage: 1991
Double sided lapping / Polishing machine
Surface plate diameter: φ 600
SUS Plate
1991 vintage.
SPEEDFAM JND 9B-5P-IV est une machine entièrement automatisée de rectification, de laminage et de polissage des plaquettes conçue pour le traitement des semi-conducteurs de haute précision. L'équipement offre une large gamme de capacités allant du broyage de grandes plaquettes (diamètres allant jusqu'à 6 pouces) à la fourniture de finitions ultra-haut poli. Le système a un processus en trois étapes qui comprend deux étapes de broyage et une étape de polissage. Lors des étapes de broyage, la machine utilise un outil à pointe diamantée pour donner une finition de surface très élevée à la plaquette. Dans la phase de polissage, l'outil diamant est remplacé par une nappe de polyuréthane et la plaquette est lentement filée autour de son centre tout en étant maintenue manuellement contre la surface de la nappe. Cela permet un processus de polissage très précis et uniforme. L'unité JND 9B-5P-IV est composée d'une unité de manutention de plaquettes électromécaniques, d'une unité de filtration de circulation, d'une table de broyage et de polissage, d'une unité de distribution de boues et d'un poste de contrôle informatique. L'unité de manutention des plaquettes a une conception modulaire qui permet deux diamètres différents de traitement des plaquettes à la fois. Il dispose également d'un dispositif de sécurité intégré pour éviter la rupture ou la contamination des plaquettes lors de la manutention. L'unité de filtration de circulation filtre en continu l'abrasif utilisé pour sa réutilisation. La table de broyage et de polissage comprend deux porte-outils en diamant motorisés distincts. Les deux supports sont réglables verticalement et horizontalement pour accueillir différentes tailles de plaquettes. L'unité de distribution de boues est un récipient alimenté par gravité qui fournit la quantité correcte de boues liquides aux porte-outils en diamant. Le poste de contrôle informatique est utilisé pour programmer et surveiller tous les paramètres de la machine, y compris la taille et l'épaisseur des plaquettes, le temps de broyage et de polissage, et la finition de surface. Dans l'ensemble, SPEEDFAM JND 9B-5P-IV est une machine de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes fiable et très précise qui est bien adaptée aux applications de traitement des semi-conducteurs. Sa conception modulaire garantit une configuration et une utilisation faciles et son poste de contrôle informatique permet aux utilisateurs de programmer et de surveiller l'outil rapidement et efficacement pour obtenir des résultats optimaux.
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