Occasion SPEEDFAM SFDL-20B-5P #9143456 à vendre en France
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SPEEDFAM SFDL-20B-5P est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes spécialement conçu pour répondre aux exigences des applications de microfabrication. Il est composé de cinq unités indépendantes, chacune fournissant un procédé de broyage, de rodage et de polissage différent. Chaque unité est interconnectée et fournit un système de « boucle fermée », ce qui permet à l'utilisateur d'obtenir les résultats souhaités de manière efficace et répétable. Les cinq unités de traitement fournissent : le broyage en tandem ; claquage ; changement de diamant ; meulage des roues de profil ; et polissage à plat. L'unité de rectification tandem peut manipuler des plaquettes semi-conductrices jusqu'à 200mm avec une précision de +/- 0,25 microns. Il fournit un processus de rectification en plusieurs étapes, où les plaquettes sont passées à travers deux meules tournantes de différentes meules. Ce procédé permet un broyage et un polissage uniformes de la surface de la plaquette. L'unité de nappage utilise du lisier de diamant pour polir la surface de la plaquette. Il fonctionne en passant la plaquette entre deux grandes surfaces planes imprégnées de diamant, en utilisant une force et un mouvement contrôlés. Ceci fournit une finition uniforme, haute brillance avec des tolérances serrées qui peuvent correspondre aux normes internationales SEMI. L'unité de commutation diamant offre un traitement des plaquettes en une seule étape et en plusieurs étapes, selon les besoins de l'utilisateur. Dans le processus en une seule étape, on passe automatiquement d'une meule à une plaque de polissage au diamant. Le procédé en plusieurs étapes utilise une combinaison de plusieurs outils, tels qu'une lame en diamant, une meule et une plaque de polissage, chacun ayant son propre objectif. L'unité de meulage de la roue profilée permet à l'utilisateur de façonner ou de former la surface de la plaquette en utilisant une meule à profil rotatif pour créer des formes de profilage ou de bord effilé. L'unité dispose d'une broche porte-air qui offre une précision et une répétabilité à grande vitesse du profil ou de la forme. Enfin, l'unité de polissage à plat fournit un polissage à plat précis, rapide et reproductible qui est exempt de dommages au sous-sol. L'unité travaille en installant une plaque de polissage sur une surface plane et en appuyant sur une plaquette. Cela crée une finition uniforme à plat sur la surface de la plaquette. En résumé, SFDL-20B-5P est une unité de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes très perfectionnée et sophistiquée qui peut être utilisée pour produire des résultats professionnels de haute qualité pour les applications de microfabrication. Il fournit une machine « boucle fermée » qui assure des résultats précis et reproductibles à chaque cycle. Il intègre cinq unités indépendantes qui offrent une gamme de possibilités de traitement, du broyage en tandem et des nappes, à la commutation de diamants et au polissage à plat. Il est idéal pour ceux qui recherchent la précision et la qualité dans leurs solutions de traitement des plaquettes.
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