Occasion SPEEDFAM SP 1200 #9259369 à vendre en France

SPEEDFAM SP 1200
ID: 9259369
Single sided wafer polishing machines 1991-1994 vintage.
SPEEDFAM SP 1200 est un équipement automatisé de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes. Cette unité polyvalente est conçue pour un traitement précis et reproductible des plaquettes. En plus des substrats de broyage et de polissage, la machine peut être utilisée pour des nappes de plaquettes fines avec la possibilité de mettre en rotation des plaques de laçage pour l'avant et l'arrière des plaquettes. Le système est conçu pour traiter les plus grandes plaquettes (jusqu'à 500 mm) permettant un débit élevé et la flexibilité. SPEEDFAM SP-1200 dispose d'une chambre de travail de dimensions 600x750x525mm (l x w x h). La hauteur interne peut être personnalisée de 380 à 475mm pour l'épaisseur de la plaquette et le revêtement de la plaquette. La pression interne de la chambre de travail est maintenue par un dépoussiéreur à deux étages qui assure le maintien des plaquettes sans contamination pendant tout le processus. Le processus automatisé est alimenté par un bras robotique équipé d'une unité d'efficacité finale, qui utilise un module de broyage, de nappage et de polissage (BPL) qui comprend un mandrin sous vide, une tasse de lisier de diamant et une plaque rotative. La plaque tournante tourne à une plage de 300-1500 tr/min permettant un contrôle exact de la vitesse du processus de broyage ou de polissage. Le module BPL est également équipé d'une machine de diagnostic qui surveille les paramètres tels que l'alimentation en air, la pression de la pompe, la force et la vitesse de broyage, l'humidité relative dans la chambre, ainsi que la taille et la pression du substrat. Cela garantit que l'outil fonctionne à des niveaux optimaux. L'unité comprend une fonction de chargement et de déchargement pour une manipulation facile des plaquettes, et a la capacité de stocker jusqu'à 50 programmes de plaquettes. Il est également équipé d'une interface utilisateur intuitive qui permet une surveillance et un contrôle faciles de l'actif pendant le fonctionnement. SP 1200 est conçu pour assurer un traitement fiable et cohérent des plaquettes. Son modèle robuste et fiable offre un certain nombre d'avantages par rapport aux processus manuels, notamment des délais d'achèvement plus rapides, des résultats précis et reproductibles, un risque minimal de contamination et une amélioration du contrôle et des performances des processus.
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