Occasion STRASBAUGH 6DS-SP #293824915 à vendre en France
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ID: 293824915
Taille de la plaquette: 8"
CMP Polisher, 8"
Main control cabinet
Polishing module
Wafer handling work area
Process plumbing
Pneumatic regulators
Gauges
Valves
Exhaust ducting
Operator controls
No slurry supply system
No facility hookups
No chiller.
Le Strausbaugh STRASBAUGH 6DS-SP est un équipement de broyage, de nappage et de polissage puissant et polyvalent conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système à grande vitesse entièrement automatisé conçu pour produire des surfaces de haute précision pour une variété de formes et de tailles de plaquettes. Cette unité offre une large gamme de possibilités d'application allant du broyage, du nappage et du polissage pour différents substrats de plaquettes, tels que le silicium polycristallin, l'arséniure de gallium et plus encore. STRASBAUGH 6 DS-SP est une machine particulièrement efficace et efficace pour l'amincissement des plaquettes minces. Cet outil utilise une broche multi-faces à grande vitesse équipée de roues en diamant qui broient, tapissent ou polis simultanément de tous les côtés du substrat. Cette broche est montée verticalement sur un cadre à haute rigidité, à faible dilatation thermique pour minimiser l'épuisement et maintenir la précision pendant les cycles de processus. La broche est commandée par un servomoteur avec un codeur de précision assurant un contrôle dynamique de la vitesse et une rétroaction pour assurer la cohérence et la répétabilité des processus de broyage et de polissage. En outre, cet atout comporte un contrôle de processus en boucle fermée qui permet principalement aux utilisateurs de spécifier les paramètres du processus et fournit une rétroaction au contrôleur pour s'assurer que les paramètres du processus sont respectés et que la finition de surface souhaitée est atteinte. Les capteurs de proximité sur la broche surveillent les forces de charge, qui sont ensuite compensées par le contrôleur. Cela aide à produire des résultats de finition de surface compatibles et reproductibles. Le Strausbaugh 6DS-SP contient également une variété de dispositifs de sécurité intégrés, tels que la protection contre les éclats d'enceinte et la prévention des contaminations abrasives. De plus, ce modèle est conçu pour minimiser la dilatation thermique et le temps de traitement grâce à l'utilisation de broches optimisées de haute précision utilisant des roues en diamant de haute précision et de haute efficacité. Cet équipement est compatible avec une variété de systèmes de broyage, de nappage et de polissage, tels que le traitement laser, le broyage classique, l'amincissement et le polissage. En outre, il est capable de manipuler des plaquettes d'épaisseur allant de 150 μ m - 6 μ m avec un diamètre extérieur de 100mm max. Le Strausbaugh 6 DS-SP a été conçu pour maximiser la productivité tout en maintenant la précision, la répétabilité et la précision.
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