Occasion STRASBAUGH 6DS-SP #293831063 à vendre en France

STRASBAUGH 6DS-SP est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de nouvelle génération utilisé pour la planarisation et la finition des plaquettes semi-conductrices de haute précision. Ce système est utilisé pour polir mécaniquement et chimiquement les surfaces planes selon des spécifications de qualité optique avec une topographie globale faible. L'unité STRASBAUGH 6 DS-SP est conçue pour offrir des performances supérieures avec des rugosités crêtes-vallée aussi faibles que 0,08 nm et une finition de surface ultra lisse sur une gamme de matériaux exotiques tels que le SiC, le GaN et le GaAs. 6DS-SP est une plate-forme multi-axes avec une machine de manutention aérienne et une tête de rodage à huit broches. Ceci est combiné avec une conception « Load Lock » à trois zones et une tête de meulage à deux étages avec outil de recirculation de refroidissement intégré. Chaque broche de tête de nappe est construite avec un mécanisme de serrage unique pour s'assurer que les plaquettes sont maintenues avec précision pendant le processus. Une armoire isolatrice intégrée est intégrée dans la conception pour réduire le bruit acoustique actif ainsi que le bruit aérien et électrique. Le modèle de contrôle pour 6 DS-SP utilise un écran tactile couleur et une interface homme-machine pour la commodité de l'opérateur. L'optimisation des processus est obtenue par l'équipement d'acquisition de données en temps réel, qui suit les topographies de surface, les niveaux de vide et les forces de serrage. De plus, un optimiseur de chemin d'outil SmartMove est utilisé pour optimiser le processus de rodage, de broyage et de polissage. STRASBAUGH 6DS-SP est capable de produire des résultats très précis et reproductibles grâce à une option de métrologie en cours de processus. Ceci est utilisé pour mesurer le profil de surface courant, s'assurer que les bons paramètres de processus sont appliqués et permet une boucle de contrôle où la topographie est améliorée à chaque cycle. De plus, l'environnement à faible teneur en lentilles promu par STRASBAUGH 6 DS-SP minimise la contamination des particules et augmente ainsi la fiabilité finale du produit. 6DS-SP système de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes est une plate-forme robuste et fiable qui assure un traitement cohérent sur un large éventail de matériaux. Cette unité permet la fabrication de semi-conducteurs de haute qualité et d'autres composants dans des tolérances serrées, la productivité motrice et le rapport coût-efficacité. Sa conception innovante, sa haute précision et ses fonctionnalités avancées se combinent pour répondre aux exigences les plus difficiles du processus.