Occasion STRASBAUGH 6DS-SP #9314687 à vendre en France
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STRASBAUGH 6DS-SP est un équipement avancé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour une production précise et cohérente de plaquettes semi-conductrices et autres substrats rigides et plats. Le système dispose d'une serrure de charge de précision pour une charge de contamination ultra-faible dans la phase mécanique de broyage/rodage, d'une unité de rodage mécanique monoplace contrôlée sous pression ultra propre, d'une machine de polissage chimique à sec monoplace et d'un broyeur/planeur de haute précision. La serrure de charge dispose d'un environnement filtré HEPA, purgé à l'azote pour une contamination environnementale ultra-faible. L'outil de broyage mécanique est capable de produire une rugosité de surface extrêmement faible sur des surfaces rigides avec broyage à deux faces, nappage et double face. L'actif mécanique peut également effectuer des nappes monobloc à une rugosité sous micron avant la phase de polissage. Le poste de nettoyage utilise l'action de la brosse et du vide pour prévenir la contamination croisée. Le modèle de polissage STRASBAUGH 6 DS-SP est conçu pour obtenir un processus de polissage hautement cohérent et reproductible avec un maximum d'uniformité et de contrôle. L'équipement utilise un processus de polissage monobloc et multicouche, automatisé et contrôlé par ordinateur. Le procédé de polissage chimique à sec est capable de produire une planéité ultra-précise élevée sur toute la surface du substrat, et un haut niveau d'uniformité atteint dans l'outil de polissage à travers la plaquette. 6DS-SP est également équipé d'une broche de broyeur/planeur de haute précision, qui est conçu pour réduire la contamination par les particules et empêcher la formation de particules du processus d'élimination des matières. La broche de broyeur est usinée avec précision et fournit des opérations de planarité ultra-haute précision, avec un système de surveillance vidéo plein mouvement en temps réel pour la détection et l'élimination des bavures indésirables. Enfin, le 6 DS-SP est équipé d'une unité de manutention automatisée pour assurer une production fiable et efficace des plaquettes et autres substrats. Le chargement, le déchargement et le transfert des substrats peuvent être facilement automatisés et la machine fournit une gamme de mesures de sécurité pour prévenir la contamination et les dommages. L'outil de traitement automatisé est également conçu avec un logiciel convivial intuitif qui permet une programmation et un fonctionnement faciles et efficaces de l'actif.
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