Occasion STRASBAUGH 6EC #9294179 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9294179
CMP Wafer polisher
Planarize: 175 mm to 150 mm
Wafer thickness: 300 um to 700 um.
STRASBAUGH 6EC est un équipement d'avant-garde, de broyage de plaquettes, de nappage et de polissage. Il est conçu pour offrir une planéité et une finition de surface supérieures aux plaquettes de silicium tout en les préservant de toute contamination, rayures et autres défauts. Le système STRASBAUGH 6 EC est extrêmement précis et efficace, car il peut obtenir une finition de surface meilleure que 0,2 nm Ra et une planéité de 3 sigma extrêmement serrée de 3um en 12 orientations planes. 6 E C se compose de quatre stations principales, d'un broyage grossier, d'un tapis et débruage de plaquettes, d'un nappage et polissage ultra fins et d'une station de nettoyage/séchage. Le poste de broyage rugueux est utilisé pour réduire l'épaisseur de la plaquette à la taille désirée et au niveau de la surface des plaquettes efficacement avec des dommages de surface minimes. La station de coulée et de dégivrage des plaquettes est dotée d'une plaque magnétique flottante pour éliminer rapidement le lisier et les débris, ce qui permet un échange rapide de plaquettes, améliore l'efficacité et évite la contamination. La station de polissage ultra fine est conçue pour obtenir une finition de surface extrêmement précise de moins de 0,2nm RA. Il peut être configuré avec un bras de transfert de bande (TTA) ou un bras de transfert de Pad (PTA). Enfin, la station de nettoyage et de séchage dispose d'une unité de séchage chauffée intégrée pour le séchage rapide et complet des plaquettes, avec un total de huit buses offrant des performances de nettoyage de pointe. 6EC machine dispose également d'un certain nombre de processus automatisés qui rationalisent le processus de broyage, de rodage et de polissage et optimisent l'efficacité. Plus précisément, il dispose d'un outil automatisé de positionnement et de manutention des plaquettes, de mécanismes de réglage automatique de la taille, de serrage et de décollement des plaquettes, de transfert des plaquettes et des plaquettes, ainsi que d'une variété de systèmes de visualisation et de sécurité. L'ensemble de l'actif est également conçu pour une expérience d'entretien robuste, fiable et facile. En conclusion, STRASBAUGH 6 E C est un modèle moderne et performant de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir des résultats de planéité et de surface supérieurs pour les plaquettes de silicium. Grâce à ses puissantes fonctions de broyage, de nappage et de polissage, ainsi qu'aux processus automatisés et à une maintenance facile, 6 EC permet de broyer, de napper et de polir pratiquement tous les types de plaquettes avec une précision et une vitesse sans précédent.
Il n'y a pas encore de critiques