Occasion STRASBAUGH 7AA #9124369 à vendre en France
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ID: 9124369
Taille de la plaquette: 6"
Wafer grinders
Fully automated
Capable of handling 75mm to 150mm wafers
Capable of both single and two step grinding processes.
STRASBAUGH 7AA est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de précision conçu pour une finition de surface optimale d'une large gamme de dispositifs semi-conducteurs, MEMS, optoélectroniques et connexes. Il est disponible dans un certain nombre de configurations qui varient en fonction des exigences de processus spécifiques. Le système commence par un porte-plaquettes pouvant accueillir jusqu'à huit plaquettes de 100mm à 300mm de diamètre. Il dispose d'une interface opérateur ergonomique offrant la possibilité d'exécuter plusieurs séquences de processus. Le porte-plaquettes est équipé d'un support de plaquettes breveté « flottant » offrant des résultats stables et reproductibles sur toutes les plaquettes de la pile. Pour maximiser le débit de production et la fidélité des procédés, STRASBAUGH 7 AA utilise une combinaison d'opérations de broyage et de rodage. Le broyage s'effectue à travers les deux axes de rotation des plaquettes de la machine, permettant trois opérations simultanées. Un disque de diamant rotatif supérieur broie la surface de la plaquette à la forme désirée. Un deuxième axe de rotation, configuré comme un ascenseur à vide, récupère la plaquette du support et la déplace à travers une série de postes de broyage en ligne. Au fur et à mesure que la plaquette passe chaque station, les paramètres sont modifiés pour répondre aux exigences spécifiques de la plaquette. Pour le processus de rodage, 7AA utilise un dispositif à platine monobloc. Ce dispositif accueille des matériaux de rodage tels que le composé diamant, le carbure de bore, les billes de verre, le carbure de silicium, et d'autres à volonté. Le dispositif à plateaux comporte un ensemble de rouleaux réglables pour assurer la pression de contact optimale entre la plaquette et la plaque de nappe. Après les opérations de broyage et de rodage, l'activité de polissage de 7 AA est réalisée par l'utilisation d'un outil de rodage à trois patins de polissage à bras robotisés. L'actif de rodage est un modèle de bras robotisé compact conçu pour une large gamme d'opérations de polissage telles que la planarisation, le biseautage, le chanfreinage, la trappe transversale et plus encore. Les plaquettes à trois pans sont conçues pour les activités de micropolissage et de macropolissage, et disposent d'un matériau antidérapant breveté qui permet au tampon de maintenir le contact avec la plaquette pendant l'activité de polissage. STRASBAUGH 7AA est également conçu pour les opérations à faible entretien. Un couvercle translucide protège l'équipement des conditions environnementales extérieures et minimise la contamination par la poussière. Le microprocesseur intégré peut être programmé pour exécuter des processus prédéterminés, éliminant le besoin de fonctionnement manuel et assurant la répétabilité sur plusieurs productions. STRASBAUGH 7 AA dispose également d'une gamme d'accessoires en option tels qu'une pompe péristaltique pour le rinçage post-traitement et l'eau DI, ou un filtre HEPA pour un procédé confiné.
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