Occasion STRASBAUGH Planarizer #9197592 à vendre en France

STRASBAUGH Planarizer est un équipement avancé de broyage, de laminage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir une planarisation de plaquettes haute performance et la qualité de surface. Ce système utilise plusieurs postes de broyage et de polissage pour améliorer la qualité de surface des couches de dispositifs, tels que l'oxyde, le nitrure, le silicium polycristallin, le tungstène, le métal et d'autres structures spécialisées. Une unité de commande entièrement personnalisable permet la personnalisation à la volée pour correspondre et répondre aux exigences du substrat afin de produire des substrats presque parfaits pour un large éventail d'applications. Les principaux composants de Planarizer comprennent une machine à sous-plateaux équilibrée et entièrement scellée. Cet outil sous-plateau dynamique utilise plusieurs cylindres d'air souples pour maintenir et répartir uniformément la pression de broyage et de polissage sur toute l'empreinte de broyage et de façon cohérente tout au long du cycle de broyage et de polissage. Il offre un contrôle supérieur des paramètres de processus tels que la planéité des plateaux, la pression de broyage, et la consistance de broyage et de polissage pour créer des plaquettes finies supérieures. Les substrats sont déplacés aux étapes de broyage et de polissage du procédé en robotique de reconnaissance fiduciaire optimisée et automatisée. Un atout unique d'amortissement des mandrins est conçu pour répartir uniformément les pressions de broyage et de polissage sur toute la surface du substrat, tout en éliminant les imperfections potentielles dans la finition dues au flambage ou à la pression de rodage inégale. Le broyage et le polissage sont contrôlés par un modèle de rétroaction en boucle fermée pour surveiller avec précision les pressions et les paramètres du processus. STRASBAUGH Planarizer dispose également d'un équipement d'imagerie optique haute résolution pour la vérification des surfaces de substrat finies. Ce système utilise des stéréo-microscopes et une technologie brevetée d'imagerie en champ lumineux/champ sombre pour fournir l'imagerie et la vérification en cours de processus pour une variété de caractéristiques, y compris les rayures, les non-uniformités, la hauteur des marches, l'épaisseur, la planéité, et d'autres paramètres avancés de rugosité de surface. Planarizer offre une gamme complète de solutions de pulvérisation et de polissage monoplace avec des configurations personnalisées pour répondre aux besoins et aux recettes de processus spécifiques à l'application. Il est conçu avec une capacité pour la mise en œuvre rapide de nouvelles recettes de processus grâce à son contrôle de table breveté et des technologies robotiques de reconnaissance fiduciaire automatisée. La combinaison de ces technologies permet de déployer STRASBAUGH Planarizer pour une grande variété de besoins de broyage et de polissage.