Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Rorze RR6140 #157593 à vendre en France
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ID: 157593
Wafer transfer station
200VAC, 60 Hz
Includes:
RR304L120-123-001 ATM wafer handler robot, 1998 vintage
Controller.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Rorze RR6140 est un dispositif multifonctionnel de préadhésion et de manutention des plaquettes conçu pour une manipulation efficace et fiable des plaquettes en fabs. Il est utilisé pour transporter et indexer avec précision les plaquettes dans les systèmes de roulement et d'alimentation des plaquettes. Le RR6140 est une unité entièrement automatisée avec un contrôle informatique embarqué et autonome, PLC et Touch Panel. L'équipement se compose de deux bras robotiques, d'un pré-aligneur multi-axes, d'un système de détection de plaquettes et d'une unité de commande. Son interface intuitive offre un accès et un contrôle opérationnels rapides et faciles sur les fonctions de pré-alignement et de manutention des plaquettes. Les bras robotisés à six axes du RR6140 sont équipés respectivement d'une grande pince et d'une petite pince. Les mouvements indépendants des armes offrent une capacité de fonctionnement et de livraison à pleine portée, permettant un chargement et un déchargement rapides et précis des plaquettes. Les bras peuvent travailler ensemble ou indépendamment selon les besoins de l'application. Le pré-alignement multi-axes est le noyau du RR6140. Il est conçu pour détecter la position de la plaquette et fournir à l'opérateur les données exactes relatives à la taille et à la position de la plaquette. Le dispositif utilise un capteur spécial pour mesurer avec précision les dimensions, l'orientation et le décalage des plaquettes. Les résultats de ces mesures sont utilisés pour déterminer l'emplacement approprié pour un pré-alignement uniforme et symétrique de la plaquette. Le RR6140 est optimisé pour le fonctionnement en salle blanche et comprend un bras de transfert de 400 mm avec une structure étanche à la poussière et des panneaux intérieurs amovibles. Il comprend également une machine intégrée de détection d'erreurs qui surveille la manipulation des plaquettes et les anomalies de paramètres. L'unité est équipée d'une chambre SMIF qui est utilisée pour sécuriser l'état des plaquettes. Le RR6140 répond aux certifications ISO 13485 et CSA et est conçu pour garantir la durabilité et la fiabilité à long terme dans les opérations critiques de fabrication de plaquettes. L'appareil a été optimisé pour être compatible avec les environnements de processus les plus avancés de l'industrie et est conçu pour une configuration rapide et une mise en œuvre facile. Dans l'ensemble, AMAT Rorze RR6140 est une solution de manutention de plaquettes innovante et fiable qui est capable de transporter les plaquettes avec précision et efficacité dans les systèmes de roulement et d'alimentation des plaquettes. Sa conception intuitive et sa facilité d'utilisation en font un choix idéal pour les opérations de fabrication de plaquettes.
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