Occasion ASM DA 139L #9266306 à vendre en France

ASM DA 139L est un manipulateur de plaquettes ultramoderne pouvant accueillir jusqu'à 8 "(200 mm) de diamètre. Il est conçu pour transférer des plaquettes, entre un support et une cassette de plaquettes, à des fins multiples telles que la fabrication, le développement de procédés et les opérations. Cette unité dispose d'un robot IE-4500R et d'une plate-forme de manutention de plaquettes EcoPlate (MC), et offre une capacité de déplacement et de positionnement jusqu'à quatre plaquettes à la fois. Il comprend également un logiciel autoloader qui crée automatiquement des cartes de plaquettes dans la cassette et permet un passage rapide entre les lots de plaquettes. La possibilité de modifier instantanément des recettes spécifiques au substrat peut aider à réduire le temps d'arrêt entre les lots. DA 139L est équipé de deux cassettes ; le CLM-1300 est continu un chargeur/déchargeur de cassettes et le CW-1300 est un chargeur/déchargeur de cassettes sous-divisé. Le CLM-1300 dispose d'un chargeur et d'un déchargeur rapides de 50 plaquettes, qui est utilisé pour les porte-plaquettes simples ou doubles faces. Le chargeur/déchargeur de cassettes CW-1300sub-split est utilisé pour les transferts de substrat entre les cassettes principales et les cassettes sous-divisées. Cette unité peut supporter jusqu'à deux plaquettes de 8 "(200 mm) de diamètre, sans adaptateurs ou capots supplémentaires. Une autre caractéristique unique du CW-1300 est la capacité de transporter jusqu'à cinq transporteurs de plaquettes à la fois, économisant du temps précieux et réduisant les coûts globaux. L'ASM DA 139L comprend également plusieurs dispositifs de sécurité, comme un dispositif de protection électro-sensible (ESPD) qui utilise des capteurs de mouvement pour détecter tout impact de corps étrangers sur le bras du robot et l'arrêter immédiatement. Sa conception comprend également un capteur de surcharge et une jupe de bras de robot redondante qui empêche la contamination et l'interférence d'objets externes. Au-delà de tout, DA 139L est conçu pour être un gestionnaire de plaquettes fiable, rentable et efficace. Le système est conçu pour être facilement intégré dans les systèmes de traitement des plaquettes existants, et offre une large gamme de fonctionnalités, y compris la compatibilité avec plusieurs types de traitement de substrat, l'orientation configurable et les modes de manipulation, et les séquences automatisées configurables. ASM DA 139L fournira aux utilisateurs un système fiable et puissant qui les aidera à atteindre un maximum d'efficacité et de productivité.