Occasion ASYST 12000-002 #9013356 à vendre en France

ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler est un équipement de manutention des plaquettes et des substrats de précision conçu pour le contrôle serré des paramètres de processus dans la fabrication de semiconducteurs et de cellules photovoltaïques. La plate-forme automatisée est conçue pour remplir toutes les fonctions nécessaires au transport efficace des plaquettes, y compris le chargement et le déchargement des plaquettes, la singulation des plaquettes, l'alignement des plaquettes et le serrage des plaquettes. Il peut être configuré avec plusieurs chambres à vide et navettes portuaires, et peut être interfacé avec l'outillage en amont et en aval pour atteindre les plus hauts niveaux de productivité et de qualité de production. 12000-002 utilise un système de mesure de l'axe Z, sans contact, d'une grande précision, conçu pour assurer un contrôle précis de l'épaisseur des plaquettes, de leur chaîne et de leur planéité globale. En travaillant en tandem avec les autres systèmes de la plate-forme, l'unité de mesure de l'axe Z permet des résultats de traitement des plaquettes cohérents. La machine prolonge également la durée de vie des plaquettes et minimise les dommages causés par le contact mécanique. Le transport de la plaquette et du substrat est rendu possible par une configuration à huit axes qui permet un mouvement rapide et précis. L'outil a une large gamme de mouvements, jusqu'à 190 mm de traversée, et des vitesses de course étroitement contrôlées jusqu'à 2 m/s. De plus, la plate-forme utilise des axes de mouvement individuels pour accélérer, décélérer ou déplacer en toute sécurité chaque plaquette en utilisant la planification de trajectoire. L'ASYST 12000-002 dispose d'une construction robuste et de capacités de régulation de température intégrées. La température de la plate-forme est précisément maintenue dans une plage de 20 ° C à 40 ° C La température peut également être ajustée en temps réel avec des variations de processus, assurant la plus grande sécurité et fiabilité de l'actif. Pour garantir une manipulation fiable des plaquettes, le portique de manutention est conçu pour un contrôle rapide et intégré du vide. Un modèle de vide entièrement encapsulé est utilisé pour assurer un débit d'air optimal, un bruit minimal et un réglage précis des niveaux de vide. L'équipement sous vide multi-niveaux assure également l'uniformité des processus sur plusieurs plaquettes. 12000-002 dispose de capacités de programmation avancées qui permettent une intégration efficace dans une variété de processus de production de semi-conducteurs. La plate-forme peut être programmée en utilisant du code G ou un langage de contrôle personnalisé. Cela permet la configuration du système dans des processus spécialisés, permettant les niveaux les plus élevés d'automatisation et de débit. L'unité est également équipée d'une machine de surveillance complète pour la précision de fonctionnement. Grâce à une combinaison de capteurs mécaniques et électroniques, l'outil de surveillance fournit une rétroaction en temps réel sur l'alignement et la position des plaquettes. Cela permet un dépannage rapide et un contrôle optimisé du processus pour un rendement maximal. Dans l'ensemble, l'ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler est une plate-forme avancée de manutention de plaquettes et de substrats capable de contrôler avec précision les paramètres de processus dans la production de semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées permettent une automatisation efficace et un transport de plaquettes très fiable, assurant une production maximale grâce à une intégration efficace dans une variété de procédés semi-conducteurs.