Occasion ASYST 12000-004 #9111130 à vendre en France

ASYST 12000-004
Fabricant
ASYST
Modèle
12000-004
ID: 9111130
Robots P/N: 029475 01-0203-029950 01-0303-029691.
ASYST 12000-004 est un gestionnaire de plaquettes avancé conçu pour augmenter le débit des plaquettes, une précision accrue et un meilleur contrôle des processus dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs. Ce gestionnaire de plaquettes est équipé de la dernière génération de technologie d'entraînement à faible friction, permettant une plus grande vitesse de motilité et une plus grande précision pendant le transport et le mouvement des plaquettes. Cet équipement de pointe est spécialement conçu pour faciliter le contrôle serré des processus critiques de fabrication, y compris la CVD, la gravure, la lithographie et la diffusion. 12000-004 a un plateau de rangement de huit niveaux qui peut stocker jusqu'à 600 plaquettes. Cette capacité de stockage accrue facilite l'accès à de grandes quantités de plaquettes prétransformées, ce qui peut être essentiel dans une production à haut volume. La conception unique du plateau permet également une recombinaison rapide des plaquettes traitées par lots pour un post-traitement rapide et précis. Ce gestionnaire de plaquettes dispose d'une gamme complète de périphériques robotiques pour faciliter une manipulation plus rapide et plus précise des plaquettes. Les effecteurs d'extrémité de ce système comprennent des ascenseurs, des piles de plaquettes, des plaques de support de plaquettes, et des étapes pour CVD, gravure, lithographie et processus de diffusion. Les effecteurs d'extrémité sont conçus pour une précision maximale et un transfert et un mouvement des plaquettes étroitement contrôlés. L'ASYST 12000-004 comprend également un ordinateur industriel, un progiciel extensible, des câbles d'intégration et des actionneurs de bobines électromagnétiques. Pour une sécurité et une protection accrues, l'unité dispose d'un verrouillage de sécurité intégré. Ce verrou de sécurité est conçu pour arrêter automatiquement les opérations de manutention des plaquettes si des conditions anormales sont détectées pendant le fonctionnement. Il assure également un fonctionnement contrôlé de la machine en cas de situations d'urgence et d'arrêts. 12000-004 est équipé d'un ensemble complet de diagnostics qui fournissent une rétroaction précieuse sur la performance de l'outil et aident à identifier les problèmes qui pourraient survenir dans le processus de fabrication. Un écran LCD diagnostique examine également la performance et la santé de l'actif, et affiche des avis et des alertes importants. En termes de performances, ce gestionnaire de plaquettes est capable de positionner des plaquettes à des tolérances ± 0,3 microns. Le mouvement rapide et précis de la plaquette est réalisé avec un modèle de commande de mouvement avancé, et la plage de mouvement de l'équipement est de 260 mm (axe x), 180 mm (axe y), et 115 mm (axe z). Ce système a également un temps de cycle de moins de 1,5 secondes, ce qui en fait l'un des gestionnaires de plaquettes les plus efficaces sur le marché. ASYST 12000-004 est une unité de manutention avancée de plaquettes conçue pour fournir une manipulation précise et rapide des plaquettes tout en assurant les plus hauts niveaux de contrôle des processus. Il dispose d'une grande variété de périphériques robotiques, d'un écran LCD de diagnostic et d'une suite complète de logiciels de diagnostic. Il est capable de fournir un mouvement de plaquette très précis à des résolutions de sous microns, et son temps de cycle est parmi les plus rapides de l'industrie. Dans l'ensemble, 12000-004 est un manipulateur de plaquettes idéal pour les exigences rapides et de volume élevé de la fabrication moderne de semi-conducteurs.
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