Occasion ASYST 9700-4680-01 #293759894 à vendre en France
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ASYST 9700-4680-01 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour assurer un transfert fiable et sûr d'une grande variété de substrats. Il est capable de manipuler des plaquettes avec des diamètres allant jusqu'à 300mm. Ce gestionnaire de plaquettes est basé sur un équipement moteur linéaire de haute précision qui se compose d'un servomoteur AC, d'une table de diapositives de précision et d'un codeur. Son système avancé de commande de mouvement linéaire assure une plate-forme stable pour les opérations de transfert des plaquettes ainsi que des systèmes de manutention des plaquettes précis et reproductibles. Ce gestionnaire de plaquettes est équipé d'une unité de surveillance intégrée qui comprend une interface opérateur ainsi que des systèmes de détection pour la haute vitesse anormale, les matériaux étrangers, et le fonctionnement de la vitesse anormale. Il offre également une protection contre les plaquettes sur et hors piste. Les systèmes de détection sont capables de détecter toute anomalie de surface et peuvent empêcher le transfert de la plaquette. 9700-4680-01 utilise une machine de préhension efficace sous vide et mécanique pour la manutention des plaquettes. Il a une plaque de préhension de plaquette qui se déplace dans les axes X et Y en utilisant des moteurs linéaires de haute précision. Il contient également un mécanisme de manutention d'insertion/collecte capable de fixer la plaquette sans avoir recours à une pression de vide élevée, évitant ainsi des dommages inutiles à la plaquette. Le gestionnaire de plaquettes est équipé d'un outil de sécurité infrarouge qui assure que l'opérateur n'est exposé à aucun environnement dangereux. Il est capable de fournir des opérations de cuisson à basse température, ainsi que de fonctionner dans des environnements à pression positive et négative. Ce gestionnaire de plaquettes intègre un logiciel de diagnostic qui a été conçu pour détecter tout défaut potentiel et alerter l'opérateur du problème. Il comprend également un contrôle dynamique de la vitesse pour les opérations de transfert de plaquettes, ce qui améliore grandement la répétabilité des processus. En outre, ce gestionnaire de plaquettes dispose d'un actif de stockage de données intégré qui stocke toutes les conditions de processus et les informations de taille de plaquettes pour une référence future. Ce modèle peut également être utilisé pour surveiller les données historiques et améliorer la traçabilité du processus de traitement des plaquettes. ASYST 9700-4680-01 est un gestionnaire de plaquettes fiable et convivial qui est bien adapté à une variété d'applications différentes. Il est conçu pour fournir des capacités de manutention de plaquettes efficaces, très précises et reproductibles, et peut être rapidement adapté à différents types de substrats et d'applications.
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