Occasion ASYST 9700-6148-01 #9095779 à vendre en France
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ASYST 9700-6148-01 est un manipulateur robotique de plaquettes destiné au traitement de plaquettes de 8 pouces dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour être utilisé dans un environnement de salle blanche de classe 100, et convient à de nombreuses opérations autres que la manutention des plaquettes, y compris la cuisson, la sondes, la mesure et le tri. Le gestionnaire de plaquettes se compose d'un ensemble robotique principal, d'une unité de levage automatique et d'un certain nombre de composants périphériques, y compris des équipements de vision, des soupapes d'air, des ensembles de soupapes et des systèmes de vision. Le bras robotique central est capable de mouvement précis selon les trois axes, lui permettant de manipuler rapidement et avec précision des plaquettes d'un diamètre maximum de 200 mm. L'unité de levage Autosampler fournit un mouvement constant, répétable et contrôlé des plaquettes de 8 pouces dans la direction verticale, ce qui permet de les charger et de les décharger efficacement du manutentionnaire de plaquettes. 9700-6148-01 dispose également d'un système de vision pour effectuer des processus d'inspection et de mesure des plaquettes avant et après leur traitement. L'unité de vision dispose d'une puissante fonction de zoom, d'enregistrement et d'analyse, et est complétée par une gamme de méthodes d'éclairage, permettant d'effectuer diverses tâches d'inspection et de mesure. Les composants périphériques du gestionnaire de plaquettes contribuent en outre à sa capacité. Les vannes d'air permettent le mouvement de la chambre cadre-cadre et l'automatisation des transferts de plaquettes, tandis que les ensembles de soupapes permettent la sélection et la manipulation précises des positions de plaquettes. Les systèmes de vision sont utilisés lors des opérations de transfert pour vérifier les positions des plaquettes et s'assurer de l'absence de pulvérisation, de contamination et de dommages aux bords. Enfin, ASYST 9700-6148-01 est conçu pour être une machine fiable et robuste capable d'effectuer des tâches de manutention de plaquettes dans des environnements de salle blanche. Pour répondre à ces exigences, ses composants, sa machine de communication et son logiciel de contrôle de processus sont spécialement conçus et testés pour répondre aux normes les plus élevées en matière de manutention et de traitement des plaquettes.
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