Occasion ASYST ARM 2200 #9189323 à vendre en France

ASYST ARM 2200 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour déplacer des plaquettes semiconductrices de 300mm des processus aux processus au sein d'une plaquette fab. Il est capable de manipuler jusqu'à deux faces de plaquettes en même temps, ce qui le rend idéal pour les processus de plaquettes multicouches. Ce gestionnaire de plaquettes est équipé d'une chambre de transfert interne fixe, conçue pour contrôler les particules ultra-faibles et la contamination afin d'assurer l'intégrité des plaquettes. L'unité utilise un bras lourd de type Z inversé qui se déplace dans un plan vertical et a une technologie réglable pour le fonctionnement avec n'importe quelle plaquette plate. Pour un fonctionnement rapide, l'unité dispose de moteurs E3 qui permettent au bras de déplacer les plaquettes rapidement de la station d'entrée à la station de sortie. L'équipement de codeur est optimisé pour une précision et une répétabilité élevées afin d'assurer la précision de fonctionnement. Ce wafer handler dispose également d'une chambre en céramique pour prolonger les temps de cycle de travail et réduire le besoin de nettoyage fréquent. De plus, un régulateur de température multi-zones est utilisé pour une répartition uniforme de la température sans conditions de surchauffe. ASYST ARM-2200 dispose d'un système de vide spécial conçu pour maintenir et déplacer les plaquettes en toute sécurité pendant leur transition entre les processus. Un coussin d'air est également utilisé pour s'assurer que la plaquette est bien maintenue dans les processus à basse pression. L'unité offre également l'alignement de focalisation automatique, le centrage des plaquettes, le réajustement automatique de la température et les opérations HOLD/RELEASE sans contrainte. Ceci permet d'obtenir une précision de positionnement fine lors du transfert de plaquettes minces entre les procédés. Le manche de la plaquette est construit avec un châssis en acier inoxydable qui est robuste et assez durable pour durer longtemps. Il dispose également d'un adaptateur de fixation de plaquettes sans contact et d'une machine de transfert de plaquettes à moteur double pour améliorer les performances. L'unité de commande intégrée de ARM 2200 dispose d'une interface utilisateur graphique (GUI) pour un fonctionnement aisé de l'unité. L'unité est également livrée avec des mises à jour logicielles et intègre la surveillance et le diagnostic en temps réel pour une fiabilité accrue.