Occasion ASYST DP2200SI #9153350 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9153350
Taille de la plaquette: 6"-8"
Wafer sorter, 6"-8"
Installation base
BROOKS Wafer sorter:
(8) 2010/10 TSMC6 SCS2000
(4) 2011/03 TSMC8 SCS3000
(4) 2011/05 UMC8A UL-408
(4) 2012/06 UMC8S SCS3000
(3) SCS408
(3) 2013/04 SKY SCS2000
(1) 2014/8 HHGSMC SCS3000
PST Wafer sorter
(2) 2010/01 UMC8A DP2200SI/INX
(6) 2010/10 TSMC6 DP3200SI/INX
(1) 2013/02 VIS2 DP2200SI
(1) 2013/04 SKY DP1200SI/INX
(1) 2014/01 UMC8E DP3200SI/INX
(11) 2014/06 SMIC15 DP2200SI/INX
(5) 2014/08 TSMC10 DP3200SI/INX
Instrument mini-environment:
Clean air
Over-pressurization in robotic handling areas
Wafer Handling / Identification:
(2) Pods / Cassette
Cassette scanning with cross-slot detection
Vacuum probes with wafer edge detection
Automatic wafer on probe centering
Optical, non-contact, Flat/Notch finding with eccentricity correction
Supports COGNEX 1721/1741/WinOCR32/AcuReader3/WinNT system
User Interface:
Small-size PC style keyboard
Optional: SECSII/GEM interface
UI: WINDOWS XP
Wafer and system damage preventions:
Pod / Cassette in place sensing
Cross slot detection
Vacuum sensing electronics
UPS / Vacuum reservoir system
Optional wafer out of cassette sensing
Cleanliness:
Class M1 (0.01 particles at 0.02 micron per pass)
Flat / Notch finder accuracy:
± 2.0 degrees in theta
± 1 mm in centering
Vacuum: 23 ± 3 inches Hg (-0.7 x 105 Pa = 20.7 inches Hg)
Temperature: 23° ± 3°C (73.4 ± 5.4°F)
Power requirements:
100–120 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum
200–250 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum.
ASYST DP2200SI Wafer Handler est un équipement de transport ultra-précis conçu pour faciliter le déplacement des plaquettes semi-conductrices dans une gamme d'applications. Il dispose d'un système d'entraînement avancé pour contrôler précisément le long des axes x, y et z, permettant le plus haut niveau de fiabilité pendant le transport des plaquettes. Son contrôleur sophistiqué permet l'incorporation avec les lignes de production existantes de traitement des plaquettes, offrant une intégration transparente avec divers équipements de fabrication. En termes de taille, l'unité de transport est compacte mais peut manipuler des substrats jusqu'à 115mm de diamètre. Il est spécialement conçu pour traiter les plaquettes double face, de sorte que la production de plaquettes semi-conductrices peut être maximisée, ce qui augmente le débit et l'efficacité. En termes de sécurité, la machine de transport est conçue avec une structure intérieure de protection pour empêcher les plaquettes d'entrer en contact avec des pièces extérieures, en veillant à ce que les plaquettes restent exemptes de contamination. Cela garantit également qu'aucun dommage n'est causé aux plaquettes pendant le processus de manutention. L'outil dispose d'une vaste gamme d'outils adaptables, ce qui le rend adapté à une variété d'applications. Ces outils sont interchangeables, permettant une flexibilité maximale lors de la configuration et de l'exécution. En outre, l'actif est équipé de matériel de surveillance et d'inspection, offrant une sécurité et une précision supplémentaires. DP2200SI Wafer Handler est une machine efficace conçue avec la technologie de précision de pointe de l'industrie pour maximiser la production de wafer. Il nécessite une maintenance minimale et offre un processus entièrement automatisé, ce qui signifie que la production peut être manipulée avec une intervention minimale de l'opérateur. De plus, la machine est excessivement sûre et fiable, évitant les dommages et la contamination des plaquettes, rendant cette machine exceptionnellement efficace.
Il n'y a pas encore de critiques