Occasion ASYST INX 2200 #293588012 à vendre en France
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ASYST INX 2200 est un gestionnaire de plaquettes conçu pour déplacer, aligner et transférer des plaquettes dans divers outils de fabrication de semi-conducteurs, tels que la lithographie, la gravure et les outils de dépôt. ASYST INX2200 dispose de deux mécanismes de transport linéaires entraînés par 4 moteurs pas à pas. Il est capable de fonctionner à une vitesse de manutention maximale de la plaquette de 1,0 m/s, et à une vitesse de transport maximale de 6 m/s. La taille des plaquettes varie de 3 pouces à 8 pouces et la capacité de poids maximale est de 2 kg. INX-2200 possède un certain nombre de caractéristiques de sécurité intégrées, y compris un mécanisme d'arrêt automatique qui s'active lorsque la plaquette n'atteint pas sa cible de transport, et un système de protection contre les coupures de courant. De plus, l'unité est équipée d'un dispositif de centrage de la plaquette qui peut tourner et positionner la plaquette pour assurer une manipulation précise de la plaquette. Un système de chargement de plaquettes, qui utilise un guide de centrage, est également inclus pour assurer un positionnement précis de la plaquette dans l'outil. ASYST INX-2200 est équipé d'un certain nombre de systèmes de commande et de contrôleurs de mouvement, qui lui permettent d'être intégré dans une grande variété d'outils de traitement des semi-conducteurs. Cela permet un contrôle précis et automatisé de l'unité et de ses fonctions. Les systèmes de contrôle facilitent également le suivi du transport des plaquettes afin que les données nécessaires au contrôle des processus et au contrôle statistique des processus puissent être communiquées. En plus des capacités de manutention des plaquettes, INX 2200 peut également effectuer la séparation et l'alignement des plaquettes, ainsi que la filtration de l'air de la chambre de processus. Cela inclut le nettoyage de l'air à l'aide d'un filtre de salle blanche, ce qui évite la contamination de la plaquette. Cette filtration permet également de réduire les risques de contamination par les particules. INX2200 est conçu avec une structure modulaire qui permet une installation, une maintenance et une mise à niveau faciles. Il supporte également de grandes intégrations de systèmes, comme des systèmes à chambres multiples, et ses technologies de pointe permettent à l'unité d'effectuer des manipulations précises des plaquettes. Dans l'ensemble, ASYST INX 2200 est un gestionnaire de plaquettes fiable et précis conçu pour répondre aux exigences exigeantes des opérations de traitement des semi-conducteurs. Ses systèmes de commande avancés et ses caractéristiques de sécurité, ainsi que sa structure modulaire en font un choix idéal pour les applications de manutention de plaquettes de haute précision.
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