Occasion ASYST IsoPort #146783 à vendre en France

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Fabricant
ASYST
Modèle
IsoPort
ID: 146783
Wafer loaders, 12" P/N: 9700-9129-01 Rev J Software: 5206 2702 0800 K-plate cover, 9700-9301-01 Prot sensors, 9700-9225-01 ABCD pads, 9700-9227-01 Wafer mapper, 9700-9116-02 Options: 9701-1716 -01 9701-1719 -01 9701-1755 -01 2007 vintage.
Le gestionnaire de plaquettes ASYST est un gestionnaire de plaquettes créé par ASYST Technologies qui est utilisé pour le déplacement et la manipulation de plaquettes de circuit intégré (IC). Le système de gestion de port se compose d'un certain nombre de composants différents qui sont tous contenus dans une seule unité autonome. L'unité robotique ASYST (ASYST) est composée de deux composants principaux : le robot de transfert et le robot de manutention. Le robot de transfert a six bras articulés indépendants avec un cryo-vide. Il est utilisé pour transporter les plaquettes IC d'une station de production à l'autre sur la ligne de production intégrée. Le robot manipulateur utilise cinq bras articulés très fiables pour déplacer les plaquettes IC du robot de transfert vers la zone d'assemblage des plaquettes. La précision, la précision et la flexibilité ont été conçues comme ses principaux objectifs. Par conséquent, ASYST lui-même dispose d'un équipement de reconnaissance d'image de plaquettes qui permet d'identifier le nombre de plaquettes contenues sur chaque plateau et de détecter les anomalies présentes dans le substrat. Cela garantit que les plaquettes peuvent être transférées et manipulées rapidement et avec précision. L'environnement infrarouge contrôlé par la température dans l'enceinte est également unique en son genre. Ceci permet des opérations sensibles à la température telles que le collage sans endommager les plaquettes sensibles. Le robot est programmé pour produire une réaction rapide et une manipulation « douce » lors du transfert ou de la manipulation de plaquettes pour s'assurer que l'intégrité du substrat n'est pas compromise. Le système ASYST Érabilité Port est également fourni avec un système de cartographie tridimensionnelle afin que les bras robotiques puissent localiser les plaquettes avec précision. L'unité de cartographie est capable de stocker jusqu'à quatre recettes de production différentes et permet aux utilisateurs de définir des options de cartographie individuelles pour chaque cycle de production. Enfin, la conception de l'appareil est facile à utiliser. L'interface utilisateur d'ASYST TirePort dispose de petites icônes graphiques qui peuvent être utilisées pour contrôler facilement les bras robotiques. L'opérateur peut également vérifier l'état de production sous la forme d'un affichage graphique pour l'ensemble de la machine de production en un seul coup d'œil. Dans l'ensemble, le système de manutention de plaquettes très sophistiqué offre précision, précision et flexibilité pour la fabrication de plaquettes IC. Il utilise un certain nombre de technologies telles que le cryo-vide, la reconnaissance d'image, le contrôle de la température, la cartographie et l'interface utilisateur graphique pour s'assurer que la manipulation et la manipulation des plaquettes sont effectuées efficacement et sans endommagement des substrats sensibles.
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