Occasion ASYST IsoPort #293649502 à vendre en France

ASYST IsemblPort est un gestionnaire de plaquettes conçu pour faciliter le transfert de plaquettes semi-conductrices vers et hors des outils de traitement sous vide. C'est une station de chargement de plaquettes sans contact, sans vide, qui peut accueillir des plaquettes de 6 et 8 pouces. Parmi les principales caractéristiques de la plaquette, mentionnons une pointe de silicium brevetée, qui est une pointe de micromètre à ressort souple qui engage la plaquette sur son bord avant (peu profond), et un mécanisme innovant de balayage thermique qui cartographie les dimensions de la plaquette. Ceci permet de s'ajuster mécaniquement à différentes tailles de plaquettes et fournit un transfert sûr et fiable de plaquettes vers et hors des outils de traitement sous vide. Le port ASYST dispose d'un espace de taille dédié de 100 microns pour le transfert d'une seule plaquette à la fois, et ne nécessite aucun pré-alignement ou l'utilisation d'outils. Au lieu de cela, il s'appuie sur les données cartographiées du scanner thermique pour maintenir des enregistrements de position précis lors du transfert de la plaquette à une vitesse élevée. Le gestionnaire de plaquettes utilise un écran tactile couleur pour communiquer avec son équipement hôte, où les utilisateurs peuvent le contrôler et le surveiller. Le tableau de signalisation de la station de Port fournit également une indication visuelle directe des verrous de chambre et des erreurs de déchargement qui peuvent se produire pendant le transfert. Cela permet aux opérateurs d'identifier et de corriger rapidement les erreurs. Le gestionnaire de plaquettes est conçu pour consacrer un minimum d'espace au sol, tout en permettant à ses utilisateurs d'ajuster facilement l'outillage et de remplacer les composants au besoin. L'intérieur en acier inoxydable d'ASYST GmbPort lui permet également de manipuler des liquides chimiquement agressifs et de tester des plaquettes qui ont été exposées à des températures rigoureuses. Afin d'assurer un maximum de temps de fonctionnement du système, le système de diagnostic d'unité est intégré, y compris un ventilateur autodiagnostic qui surveille et signale les erreurs. Il comprend également une machine de rétroaction en boucle fermée intégrée avec des capteurs temps réel pour un étalonnage plus précis et un thermocouple temps réel pour un transfert thermique précis des plaquettes. Dans l'ensemble, ASYST Érabilité Port est un gestionnaire de plaquettes polyvalent conçu pour offrir des performances fiables et un transfert de plaquettes rapide. Son scanner thermique innovant et ses systèmes de rétroaction basés sur des capteurs permettent un enregistrement de position précis pendant le transfert et permettent aux utilisateurs de surveiller l'outil en temps réel. L'objectif est de fournir un maximum de temps de disponibilité et de configuration d'empreinte minimale.