Occasion ASYST IsoPort #9199614 à vendre en France

ASYST Érabilité Port est un équipement automatisé de manutention de plaquettes conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de transférer des plaquettes d'un point à un autre rapidement et avec une déformation minimale des plaquettes. Le système peut gérer différents types de plaquettes, telles que rondes, carrées et rectangulaires, jusqu'à des diamètres de 12 pouces. L'unité peut être entièrement automatisée ou contrôlée manuellement pour une flexibilité maximale. Cette machine est composée de plusieurs modules, dont un outil de transfert de plaquettes sans griffe, un prober intégré, un chargeur et un déchargeur de plaquettes, et un contrôleur de température ELV-ASYST de la station. L'actif de transfert de plaquettes peut gérer à la fois des lots de plaquettes simples et multiples, et est conçu pour assurer un faible mouvement d'angle et de faible vibration lors du transfert de plaquettes. Il est actionné par des moteurs pas à pas très efficaces et comprend également une capacité ASYST Wafer Volume Pressure (WVP) intégrée, qui compense toute variation d'épaisseur de la plaquette pendant le transport. Le prober intégré est constitué d'un bras manipulateur et d'une porte à quartz, qui offrent un environnement propre en réduisant le potentiel de poussière et d'autres particules d'entrer dans la chambre. Il est capable de transférer jusqu'à six plaquettes par cycle et peut être utilisé pour diverses procédures d'essai en ligne, telles que l'évaluation de la qualité de surface et les essais électriques. Le régulateur de température ELV-Ageusement Port est conçu pour contrôler et contrôler précisément la température pendant le transfert des plaquettes. Il est doté d'un modèle de refroidissement actif et peut être utilisé pour mesurer les températures de surface et internes des plaquettes pendant un seul cycle. Enfin, le chargeur et le déchargeur de plaquettes fonctionnent comme un tampon entre l'équipement de transfert de plaquettes et le probère intégré. Il est conçu pour offrir une flexibilité maximale et maintenir des températures pour des performances optimales. En résumé, ASYST Ageusement Port est un système automatisé de manutention des plaquettes extrêmement polyvalent et efficace, capable de transférer et/ou de tester une variété de plaquettes jusqu'à des diamètres de 12 pouces grâce à un mouvement très précis et cohérent. Avec sa combinaison de modules intégrés, de régulateur de température et de chargeur/déchargeur de plaquettes haute technologie, il assure un débit maximal tout en maintenant les déformations des plaquettes au minimum.