Occasion ASYST IsoPort #9249554 à vendre en France
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ID: 9249554
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Load port, 12", parts system
P/N: 9700-9129-01 Rev.J
Wafer loader, 12"
2007 vintage.
ASYST IsemblPort est un gestionnaire de plaquettes intégré conçu pour l'automatisation des outils de traitement des semi-conducteurs. Cette machine est conçue pour le transport de plaquettes semi-conductrices nues et traitées dans un environnement de salle blanche. Il est capable de transférer directement des plaquettes de ses ports de chargement vers divers outils d'exploitation, tels que des chambres de processus monobloc. À l'aide d'une combinaison de huit bras robotiques, de systèmes de haute qualité, de mystation de l'air et d'ionisation, les wafers sont capables de se déplacer rapidement et en toute sécurité d'une station à l'autre. De plus, la machine est équipée d'un système d'auto-étalonnage lui permettant d'ajuster rapidement sa force de préhension des plaquettes, si nécessaire. La classe ISO 4 est également équipée d'un système de classe 4, ce qui la rend idéale pour les environnements ultra propres et contrôlés contre la contamination. Il est capable de transférer jusqu'à vingt-cinq (25) plaquettes en un seul cycle, avec un taux de rotation maximal de cent cinquante (150) plaquettes par heure. En outre, il est doté d'un revêtement standard SiC (Silicon Carbide) et est équipé d'un système de détection multi-points des plaquettes, qui assure une identification précise des plaquettes avant chaque cycle de traitement. De plus, la gamme de détecteurs de gaz qu'il propose permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler les gaz de façon plus précise et plus efficace. Il dispose également d'un moniteur de particules, permettant aux opérateurs de détecter facilement les particules, débris et autres contaminations dans l'atmosphère de la salle blanche. De plus, une capacité cassette-à-cassette est disponible, permettant d'intégrer la machine dans les lignes de production automatisées existantes. Enfin, le système ASYST de contrôle des mouvements est conçu pour réduire les temps d'arrêt, les coûts et l'impact environnemental, en utilisant la technologie avancée de contrôle des mouvements et les logiciels d'automatisation avancés. Son interface utilisateur comprend une interface utilisateur graphique intuitive (UI), qui fournit les informations nécessaires à la mise en place et au fonctionnement rapide et précis de la machine. Il dispose également de capteurs de sécurité et de comportements de manutention spéciaux, afin de minimiser le risque de dommages aux plaquettes pendant le transport.
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