Occasion ASYST IsoPort #9255530 à vendre en France

ASYST IsemblPort est un manipulateur de plaquettes de haute précision et à faibles particules utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir un fonctionnement fiable, précis et répétable dans des environnements de processus durs et exigeants. Les principaux composants d'un gestionnaire de wafer (wafer) sont un bras robotique multi-stations, un équipement de transfert de wafer et un système de stockage de wafer. Le bras robotique d'ASYST Ageusement Port est équipé d'effecteurs d'extrémité personnalisés capables de manipuler et de placer les plaquettes de manière sûre et précise dans des environnements industriels et cryogéniques sélectionnés. Le bras est entraîné par des moteurs électriques et utilise un servomoteur à faible vibration breveté pour minimiser les vibrations, les gaz de sortie et la génération de particules. L'unité de transfert de plaquettes utilise des modules moteurs linéaires pour placer avec précision des plaquettes à des points déterminés du cycle de traitement. La machine de stockage de plaquettes consiste en un inventaire de type carrousel géré par un ordinateur qui fournit à l'opérateur un accès efficace et facile aux plaquettes. Ses principaux avantages sont sa répétabilité, sa précision et sa conception compacte. L'unité robotique fournit un positionnement précis et répétable des effecteurs d'extrémité, et son servomoteur basse vibration minimise la contamination. L'outil de transfert de plaquettes est précis et reproductible, capable de transporter et de placer les plaquettes avec précision, même à grande vitesse. Enfin, sa conception compacte lui permet de s'insérer facilement dans des espaces serrés dans des environnements industriels et cryogéniques. Le manipulateur de plaquettes ASYST multisPort est conçu pour assurer un fonctionnement et une durabilité efficaces. Il est équipé d'emboîtements redondants et de capteurs anti-collision qui le protègent, lui et ses composants, des dommages et de la contamination. Enfin, sa conception en acier inoxydable et en plastique, ainsi que son environnement scellé, fondu et blindé, réduisent le dégazage et la contamination et aident à protéger les composants, même dans les applications les plus exigeantes.