Occasion ASYST / LAM RESEARCH 4620 / 1150 #9182138 à vendre en France

ASYST/LAM RESEARCH 4620/1150 Wafer Handler est un équipement robotique conçu pour la manutention des matériaux et l'automatisation des processus dans la fabrication des wafers. Il s'agit d'une plate-forme « cube sur roues », conçue pour fonctionner à des températures élevées allant jusqu'à 140 ° C Il est également classé dans la catégorie « salle blanche », c'est-à-dire qu'il est conçu pour fonctionner dans un environnement de salle blanche de la classe 1 000. Le gestionnaire de plaquettes est relié à une unité CAE aérienne et est équipé d'un ascenseur vertical, ce qui lui donne la capacité de positionner et de prendre des plaquettes avec précision pour le transport et la manipulation dans le processus. Le manipulateur se compose d'un bras robotisé qui peut manipuler les plaquettes, ainsi que d'une bande transporteuse pour déplacer les plaquettes dans et hors du processus. De plus, le manipulateur de plaquettes est équipé d'un mécanisme de transfert inclinable de levage (LTT), qui lui permet de transférer des plaquettes du CAE supérieur au bras du robot, ainsi que du bras du robot à la bande transporteuse, et vice versa. Le mécanisme LTT est commandé par une machine de commande robotique de haute précision, fournissant un positionnement précis des plaquettes. En outre, l'ASYST 4620/1150 Wafer Handler est équipé d'un outil avancé de suivi des wafers au laser pour détecter la position des wafers, ainsi que la capacité à s'intégrer à d'autres équipements de processus, tels que les modules Load-Port, les systèmes de cassettes de wafer et les systèmes de four. Il peut également être interfacé avec un actif d'automatisation d'usine pour surveiller et contrôler l'ensemble du processus de fabrication des plaquettes. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 4620/1150 Wafer Handler est un modèle robotique efficace et avancé capable d'effectuer plusieurs opérations de manutention de wafer dans un environnement de salle blanche. Il fournit un positionnement précis et reproductible des plaquettes, et est adapté à l'intégration avec d'autres équipements et systèmes de fabrication de plaquettes.