Occasion ASYST LPO 2200 #293630337 à vendre en France

ASYST LPO 2200
Fabricant
ASYST
Modèle
LPO 2200
ID: 293630337
Wafer handler.
ASYST LPO 2200 est un gestionnaire de plaquettes pour le traitement des plaquettes semi-conductrices, conçu pour répondre aux exigences strictes des procédés de fabrication des semi-conducteurs les plus avancés. Ce gestionnaire de plaquettes a été conçu pour améliorer le débit et le débit du processus, tout en offrant la plus grande flexibilité de l'équipement. LPO 2200 est capable de transférer des plaquettes d'un diamètre maximal de douze pouces, avec une capacité de charge maximale de 700 kilogrammes. Le manche est équipé d'une structure à double verrou unitisé durable, avec deux rails de guidage de haute précision et un bras de manutention à ressort intégré, ce qui le rend extrêmement polyvalent en fonctionnement, car il peut être facilement adapté pour accueillir différentes tailles et formes de plaquettes. L'ASYST LPO 2200 dispose d'un système de contrôle intégré qui permet de contrôler facilement le bras de manutention des plaquettes et de fournir et recevoir des données provenant de sources externes. L'unité utilise une technologie d'asservissement éprouvée, avec une rétroaction codeuse de haute précision, afin d'assurer un alignement précis du bras de manutention de la plaquette par rapport à la surface de la plaquette. La LPO 2200 comprend une machine intégrée de nivellement des plaquettes, qui surveille l'angle de la plaquette en cours de traitement et garantit un alignement uniforme de la plaquette traitée au niveau du dispositif. Ce niveau de contrôle est critique pour les procédés avancés, tels que la planarisation mécanique chimique, car il garantit que la surface traitée reste uniforme et non inclinée. Le manipulateur est également équipé d'un outil de protection thermique qui protège contre la surchauffe des plaquettes, due à une exposition prolongée à des températures élevées pendant les phases de traitement. L'actif de protection thermique est capable de réagir aux changements de température de la plaquette en millisecondes, afin d'éviter tout nouveau dommage à la plaquette. Enfin, l'ASYST LPO 2200 est équipé d'un modèle de vision avancée, conçu pour détecter les éventuels écarts entre la position réelle de la plaquette et la position souhaitée de la plaquette. Cela permet d'assurer que les processus initiés sont correctement alignés avec la surface de la plaquette, et d'éviter tout risque de résultats de processus inférieurs aux normes. En conclusion, LPO 2200 est un gestionnaire de plaquettes haute performance pour le traitement des semi-conducteurs, capable de transférer des plaquettes jusqu'à douze pouces de diamètre, avec une capacité de charge maximale de 700 kilogrammes. L'unité est équipée d'une structure à double verrouillage durable et d'un équipement de contrôle intégré, tandis que le système de protection thermique intégré et l'unité de vision garantissent le plus haut niveau de précision, de qualité et de fiabilité de la machine.
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