Occasion ASYST LPT 2200 #9384482 à vendre en France

Fabricant
ASYST
Modèle
LPT 2200
ID: 9384482
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
SMIF Loader, 8" 1998 vintage.
ASYST LPT 2200 est un manipulateur de plaquettes très fiable qui est conçu pour transporter et positionner avec précision les plaquettes à semi-conducteurs de 200mm et 300mm dans des environnements de salle blanche. Le dispositif est composé de deux composants principaux ; l'armoire d'interface de transport des plaquettes, qui commande la prise et la mise en place des plaquettes sur un plateau de plaquettes, et le sous-système de transport des plaquettes, qui abrite le mécanisme qui entraîne l'étape de transport des plaquettes, ainsi que les moniteurs de température, d'humidité et de particules. ASYST LPT2200 utilise un moteur pas à pas électrique, un micro étage programmable à courroie, ainsi qu'un système de commande de joystick en boucle fermée à trois axes pour positionner avec précision les plaquettes à l'intérieur du dispositif. Le dispositif est également équipé d'un positionneur programmable, avec des sensibilités allant de 1,26 à 5 um et une répétabilité de +/- 2,5 um, ce qui permet un positionnement très précis et précis des plaquettes lors de l'utilisation du dispositif. Le LPT 2200 est conçu pour pouvoir transporter des plaquettes dans des tailles de plateaux allant de 4 « à 9 », ou des plaquettes de 200mm et 300mm, avec une capacité de rétention allant jusqu'à 6 plaquettes à la fois. Il est également conçu pour deux configurations wafer-to-wafer, qui permettent un transfert facile des wafers de plateau à plateau sans aucune intervention manuelle. Le dispositif contient également une vanne d'isolation électropneumatique, qui fonctionne comme un bouclier d'air entre différents équipements de procédé. Ce bouclier d'air aide à prévenir l'accumulation de contamination en fournissant un environnement propre et contrôlé dans lequel l'appareil peut fonctionner. De plus, le dispositif a été spécialement conçu pour fonctionner à une température maximale de 41 ° C et une humidité de 20 à 60 %. Cela signifie qu'il peut être utilisé dans divers environnements de salles blanches et peut même être utilisé dans des zones dangereuses comme les salles blanches des classes 10 et 100. En conclusion, LPT2200 est un gestionnaire de plaquettes très fiable et précis, parfait pour une utilisation en salle blanche et dans d'autres environnements et applications de haute précision. Avec son système de contrôle à trois axes, sa température, son humidité et sa surveillance des particules, ainsi que sa courroie entraînée, son micro étage programmable et sa vanne d'isolation électropneumatique, il est conçu pour transporter et positionner avec précision les plaquettes semi-conductrices et offrir des performances supérieures.
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