Occasion ASYST / PST SPARTAN #293652724 à vendre en France

Fabricant
ASYST / PST
Modèle
SPARTAN
ID: 293652724
EFEM Wafer sorter (4) Loadports Wafer flip unit.
ASYST/PST SPARTAN est un manipulateur de plaquettes conçu pour les opérations de fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé d'une gamme de fonctions automatisées pour le chargement et le déchargement, le nettoyage, l'alignement et même la coupe des plaquettes. L'appareil peut être utilisé en mode manuel, semi-automatique et entièrement automatisé. En mode manuel, le bras porte-poignées peut être déplacé à n'importe quelle position dans son espace de travail. Les porte-plaquettes sont verrouillés dans la plaque support, et l'équipement détectera et orientera automatiquement la plaquette par rapport à la surface d'assemblage. Il est conçu pour supporter les plaquettes grand format (300mm), petit format (50mm) et céramique (matériaux céramiques). Le système peut charger et décharger jusqu'à trois plaquettes à la fois en utilisant un chargeur et un déchargeur spéciaux à grande vitesse. Les chargeurs et les déchargeurs peuvent être automatisés pour optimiser le débit tout en conservant l'orientation et l'espacement des plaquettes. Le gestionnaire dispose également d'une station de nettoyage des plaquettes qui utilise des procédés de nettoyage par ultrasons et produits chimiques pour éliminer les contaminants de surface des plaquettes avant leur manipulation. Une baguette sous vide hydrocarbonée est utilisée pour éliminer les particules des surfaces des plaquettes. Les plaquettes sont ensuite passées à travers un nettoyant à plasma d'azote pour purifier davantage les surfaces afin d'obtenir les meilleurs résultats de manipulation. Parmi les autres opérations disponibles, mentionnons la reconnaissance d'images laser pour un alignement précis des plaquettes dans le manipulateur, la coupe d'aubes pour découper les encoches en formes standard et personnalisées, et les cames de pression pour appliquer une pression sur les plaquettes. PST SPARTAN wafer handler est conçu avec une conception très fiable et robuste pour assurer un fonctionnement fiable. Il est capable de loger jusqu'à 150 plaquettes sur sa plaque support. Il comprend également un dispositif de verrouillage de sécurité 4 étapes pour limiter les erreurs de manipulation possibles des plaquettes. Le gestionnaire de plaquettes comprend également des rapports et des fichiers de travail à imprimer ou à télécharger sur un ordinateur pour le suivi et l'analyse. En résumé, ASYST SPARTAN est un gestionnaire avancé de plaquettes conçu pour les opérations de production à haut débit. Il est équipé d'une gamme de fonctions automatisées pour le chargement et le déchargement, le nettoyage, l'alignement et même la coupe des plaquettes. L'appareil est également configuré avec une machine 4-Step Safety Lock, et comprend une station de nettoyage des plaquettes, un outil de reconnaissance d'image laser, un coupe-lame et des cames de pression. Le dispositif est capable de supporter des plaquettes grand format (300mm), petit format (50mm) et céramique (matériaux céramiques) et intègre des caractéristiques de sécurité fiables pour son utilisation dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs les plus exigeants.
Il n'y a pas encore de critiques