Occasion ASYST / PST SPARTAN #293652726 à vendre en France

ASYST/PST SPARTAN est un gestionnaire de plaquettes conçu pour supporter des applications nécessitant une grande précision et fiabilité. PST SPARTAN est disponible en deux variantes séparant le robot (navette motorisée) et le manipulateur (chambre de traitement, puissance, commandes et capteurs). Cette gamme de produits convient à une variété de procédés et de températures, allant du faible (< 100C) au haut (> 400C), avec une large gamme de capacités telles que le chargement et le déchargement des plaquettes en plusieurs étapes, le tri des plaquettes et le nettoyage du dos des plaquettes. La conception du gestionnaire de plaquettes ASYST SPARTAN est compacte et efficace. Il dispose d'une base de manutention fixe et d'une conception flexible et modulaire qui est facile à mettre à niveau et à installer. La conception modulaire du matériel permet une intégrité structurelle et un programme de maintenance à long terme, qui fournit une plate-forme fiable et stable pour le traitement et la manutention des plaquettes. En outre, son architecture de contrôle offre une intégration robuste des sous-systèmes de mouvement, de processus et de capteurs, ce qui en fait une solution appropriée pour les applications nécessitant des niveaux élevés de précision et de répétabilité pendant le processus. Le gestionnaire de plaquettes SPARTAN est très capable d'une large gamme de substrats et de tailles, y compris des plaquettes de 300mm et 200mm, ainsi que d'une variété de substrats spécialisés. Il supporte une variété d'opérations de manutention de la matrice telles que le placement de la matrice, le ramassage et le tri. Ceci est réalisé par l'utilisation d'un équipement sous vide et sa mise en œuvre d'une plate-forme de carrousel de déplacement de plaquettes. Le système est conçu pour offrir une grande précision et fiabilité, car il utilise une unité de contrôle en boucle fermée qui surveille la position de la plaquette dans la navette et les rétroactions à la base du gestionnaire avec une grande précision. Des dispositifs de sécurité avancés sont disponibles pour minimiser les risques de dommages pour le personnel et l'équipement. Ces caractéristiques de sécurité comprennent des interrupteurs de limite, un bouton e-stop et une machine de sécurité en position tridimensionnelle. Le gestionnaire de plaquettes ASYST/PST SPARTAN est capable d'un large éventail d'applications et est garanti de fournir un support complet de traitement des plaquettes. Ses caractéristiques permettent de gérer une variété de substrats, de tailles et de températures, ainsi qu'un outil de transport de plaquettes stable avec une précision et une fiabilité répétables. Il est également simple à utiliser et à configurer, ce qui en fait un bon choix pour les clients à la recherche de systèmes de manutention de plaquettes de haute qualité et rentables.