Occasion ASYST / PST SPARTAN #9247586 à vendre en France
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ID: 9247586
EFEM Wafer sorter
Includes:
Datum structure
Mini-environment
Wafer engine
End effector
Load port
Aligner
Front electrical enclosure
Bridge tool option
ASYST EG-300B Edge grip buffered wafer aligner
Accurate alignment:
Wafer centering: +/- 0.05mm
Notch angle: +/- 0.075 deg
Wafer buffer function: Minimize robot idle time
Integrated OCR cameras: Top and/or bottom read
Vacuum 80 kPa.43 L/mins
10mm Flex tube comptabile with SMC one touch fitting
Ethernet: RJ-45 Connection
Electrical requirements: 120 VAC, 15 Amp circuit, 10 Amps full load.
ASYST/PST SPARTAN est un manipulateur de plaquettes haute performance conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement automatisé de transport de plaquettes conçu pour déplacer, faire tourner et transporter les plaquettes à semi-conducteur avec précision, avec des dommages minimes et un temps de manutention total faible. Le gestionnaire de plaquettes PST SPARTAN est capable de transporter jusqu'à 12 plaquettes et de les déplacer d'une station de traitement à une autre avec une précision pointue. Le système de transport de plaquettes utilise deux étapes et la capacité de ramasser et déplacer des plaquettes d'un niveau à l'autre simultanément. Le mouvement des plaquettes est basé sur l'utilisation de la technologie d'asservissement linéaire sans balais, offrant une haute précision, fiable, un positionnement sans balayage et sans balayage. Il utilise également une unité de codage qui assure un mouvement précis et répétable dans l'axe X, Y et R d'orientation des plaquettes. ASYST SPARTAN est conçu pour être pratiquement sans entretien et hautement fiable sur toute sa durée de vie. Il est facile à installer, avec une machine de balayage robuste qui détecte les bulles de plaquettes ou les puces de bord et empêche le manipulateur de ramasser cette plaquette. Le gestionnaire de plaquettes dispose d'un logiciel pour une configuration rapide des tâches et une programmation flexible pour exécuter rapidement des recettes complexes. Le gestionnaire de plaquettes SPARTAN est équipé d'un bouclier antistatique et résistant aux rayures pour protéger les plaquettes de l'électricité statique et des rayures. De plus, le boîtier est conçu pour s'assurer que les particules de poussière et tout autre débris provenant du milieu environnant ne peuvent pas attirer la surface de la plaquette, ce qui prolonge sa durée de vie. Son outil intégré tolérant les pannes peut identifier, analyser et résoudre les problèmes au fur et à mesure qu'ils surviennent, assurant le plus haut niveau de performance et un fonctionnement sans erreur. Il comprend également des contrôles conviviaux et un écran tactile codé en couleur pour faciliter l'accès et le fonctionnement. Le gestionnaire de plaquettes ASYST/PST SPARTAN est conçu pour éliminer le travail humain et augmenter la productivité dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est une solution robuste, fiable et économique pour le transport et la manutention des plaquettes. Avec sa grande précision, ses exigences réduites en matière de maintenance et son interface utilisateur intuitive, PST SPARTAN est la solution idéale pour de nombreux procédés de production et de laboratoire dans l'industrie des semi-conducteurs.
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