Occasion ASYST / PST SPARTAN #9254166 à vendre en France
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ASYST/PST SPARTAN est un gestionnaire de plaquettes haute performance pour l'automatisation des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un robot polyvalent de manutention de plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs, les essais et l'assemblage de lignes, et est utilisé pour manipuler des plaquettes, des dés et d'autres composants. PST SPARTAN se compose d'une série de composants, dont un cadre principal, une tourelle de sélection de plaquettes, une interface à cassette ouverte (OCI), une interface à tube ouvert (OTI), une interface à chambre autonome (SACI), une interface à bras (AIA), un lecteur à bras (AGD), un équipement basé sur un logiciel. Le cadre principal se compose d'un cadre métallique avec une tourelle de prise/place intégrée et un bras robot 5 axes. La tourelle de sélection de plaquettes se compose de trois interfaces de chambre, un OCI, un OTI, et un SACI, pour gérer diverses géométries et diamètres de plaquettes. Le bras robotisé 5 axes dispose d'un étage de positionnement X-Y-Z contrôlé de précision qui peut traverser 250 mm/sec. Avec un entraînement à friction en z unique et un contrôle intuitif du mouvement, le bras robot est capable d'effectuer des mouvements de choix/place de haute précision avec une précision de répétition inférieure à +/-25 microns. L'interface bras (AIA) relie le bras du robot au cadre principal et fournit les signaux de commande nécessaires pour déplacer le bras du robot. Le Arm Drive (ADG) est un moteur compact micromètre qui est capable de fournir un contrôle de mouvement précis et répétable. Le sous-ensemble (SA) est utilisé pour l'interface et le contrôle de la tourelle de sélection et de placement de la plaquette. Il est composé d'une série de cartes électroniques et de composants qui permettent la production de robots de manutention de plaquettes. ASYST SPARTAN comprend également une suite logicielle, qui comprend diverses applications logicielles telles qu'un améliorateur de motif, un auto-calibrateur, un analyseur de pas et un contrôleur de mouvement en temps réel. Le système basé sur Windows permet aux opérateurs de configurer et de contrôler rapidement et facilement les systèmes de manutention des plaquettes, ainsi que de surveiller et d'évaluer les performances des unités. SPARTAN offre une solution fiable et flexible pour la manutention de plaquettes et d'autres composants dans la fabrication de semi-conducteurs, les tests et les lignes d'assemblage. Avec sa machine de commande intelligente et ses capacités de mouvement précises, ASYST/PST SPARTAN est un choix idéal pour toute industrie de semi-conducteurs.
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