Occasion ASYST / PST SPARTAN #9386363 à vendre en France

Fabricant
ASYST / PST
Modèle
SPARTAN
ID: 9386363
EFEM Wafer sorter.
ASYST/PST SPARTAN est un gestionnaire de plaquettes conçu pour aider avec des applications automatisées et manuelles de manutention de plaquettes. Cet équipement est équipé d'une panoplie de robots et d'autres composants pour faciliter le processus. Il peut être utilisé pour des processus tels que la sélection et la mise en place de plaquettes, le collage de plaquettes, le transfert de plaquettes et la singulation de plaquettes. Le système automatisé de manutention des plaquettes comprend trois types de robots : le robot Scara, le robot cartésien X-Y et le robot Delta. Chacun d'eux est équipé d'une technologie de contrôle avancée et peut manipuler des centaines de plaquettes jusqu'à 200 millimètres de diamètre. Le robot Scara est capable de transporter plusieurs plaquettes en une seule fois tandis que le robot cartésien X-Y est capable de faire des réglages fins pour assurer un positionnement précis de la plaquette pendant le traitement. Le robot Delta est un robot polyvalent qui peut gérer une variété de processus. L'unité comprend également une machine de vision avec 3 caméras CCD et un outil d'éclairage pour détecter les objets. Cela permet à l'actif de reconnaître des motifs et des formes sur le substrat et d'identifier différentes plaquettes. Il sert également de colonne vertébrale pour le modèle de manutention automatisée des plaquettes. L'équipement de vision est capable d'évaluer les niveaux de défauts sur les plaquettes avant le transfert aux processus en aval. En plus des robots et des systèmes de vision, le système est également livré avec une variété de fonctions de détection et de capteurs. Il s'agit notamment de capteurs infrarouges et laser, ainsi que de capteurs de pression. Les fonctions de détection sont utilisées pour fournir une rétroaction aux opérateurs sur la position des plaquettes par rapport aux robots et autres composants de l'unité. Ceci est fait pour assurer la précision et l'efficacité lors de la manipulation des plaquettes. De plus, la machine automatisée de manutention des plaquettes dispose également d'une unité de placement et de traitement des plaquettes. Cette unité contient une pince à substrat réglable et un micro-actionneur linéaire pour déplacer et maintenir la plaquette avec précision. Il existe également des micro-interrupteurs et d'autres composants basés sur le circuit pour détecter les signaux et contrôler le fonctionnement de l'outil. En effet, PST SPARTAN est un outil de manutention de plaquettes entièrement automatisé et fiable. Ce modèle est flexible et peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques des clients. Il est conçu pour fournir des résultats de haute précision et fiables dans le transfert de plaquettes et d'autres opérations de traitement. L'équipement est équipé de caractéristiques de sécurité complètes et offre une solution complète pour la manutention automatisée des plaquettes.
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