Occasion ASYST R150 9701 4314-01 #143140 à vendre en France

ASYST R150 9701 4314-01 Wafer Handler est un composant d'automatisation conçu pour transférer, alimenter et manipuler des wafers dans des machines de fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'un système de table tournante, fournissant le mouvement nécessaire pour placer et retirer avec précision les plaquettes semi-conductrices du substrat et d'autres moules. Son cadre droit supporte une paire de rails linéaires et quatre actionneurs linéaires asservis, un par coin. Cette disposition permet un transfert fiable et précis de l'angle à deux rangées vers la plaquette. L'angle de la plaquette transférée est réglable dans les 90 degrés avec une résolution de 0,5 degrés. Le R150 est contrôlé par un pendentif pédagogique intuitif. Le pendentif pédagogique a une interface utilisateur avec une variété de paramètres et d'outils d'accès aux données. Les fonctions du R150 Wafer Handler comprennent l'alignement des plaquettes, la rotation et le retournement des plaquettes, et le réglage des plaquettes. Ce système obtient un positionnement précis avec une résolution fine par une combinaison de mouvement et de rétroaction. Le R150 utilise également la rétroaction linéaire de l'actionneur. Tous les actionneurs linéaires fournissent des données de rétroaction de position avec une résolution de 1 micron. Ce niveau avancé de rétroaction permet l'alignement précis de différentes tailles et formes de plaquettes. Le R150 peut être utilisé dans un environnement ambiant avec des températures allant de 10 ° C à 40 ° C et une humidité relative allant de 20 % à 80 %. Son cadre en acier inoxydable est construit avec des pièces lourdes, ce qui le rend apte à un fonctionnement durable dans un large éventail de poussières et d'environnements corrosifs, tels que les lignes de production de semi-conducteurs. La conception globale du R150 Wafer Handler garantit un fonctionnement en douceur et assure que toutes les plaquettes restent en place de manière sûre, évitant tout dommage potentiel dû au mouvement ou au transfert. Il s'agit donc d'une solution fiable pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs à haut volume.