Occasion ASYST SMIF-300FL #121297 à vendre en France
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ID: 121297
Taille de la plaquette: 12"
Front-load load port, 12"
M/N: 9700-5158-01
Comes with kits and manuals.
Le gestionnaire de plaquettes ASYST SMIF-300FL est un équipement entièrement automatisé, compact et hautement fiable utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la production de circuits intégrés. Il est conçu pour faciliter le déplacement des plaquettes entre les chambres de traitement spéciales et les ports de chargement des plaquettes. L'ASYST SMIF 300FL est équipé d'un bras robotique à 6 axes qui contient un seul bras encapsulé, deux actionneurs linéaires, 3 plaques de fond et un mandrin d'outil à coin 3 axes. Les actionneurs linéaires assurent un mouvement et un contrôle précis avec une précision de +/- 0,003mm dans les directions de mouvement X, Y et Z. Le bras robotique a une portée efficace de 300mm et une capacité de charge maximale de 6 kg. Les 3 plaques de fond offrent une surface de fond douce et sûre pour transférer et maintenir jusqu'à 6 plaquettes par cycle d'opération avec facilité. Le mandrin 3 axes est capable d'enlever, de transporter et de placer en douceur des plaquettes petites et délicates et d'autres substrats, tandis que la température peut être maintenue entre 20 et 40 degrés Celsius. Le SMIF 300 FL offre également une flexibilité de processus améliorée grâce à sa télécommande, à son évolutivité et à ses multiples connexions de chambres de processus. En plus de son contrôle robuste, l'ASYST SMIF 300 FL comprend également une solution intégrée tout-en-un offrant une simplicité de fonctionnement inégalée, ainsi qu'un éventail complet de dispositifs de sécurité et de mesures de protection. Le système utilise une architecture de sécurité à 5 niveaux basée sur Windows pour un fonctionnement sûr et un contrôle fiable des processus. Cette architecture assure la détection des problèmes de sécurité potentiels et la prévention de toute opération ou défaillance de l'unité qui pourrait entraîner une contamination du procédé. En outre, SMIF 300FL dispose d'une interface utilisateur intuitive, d'un contrôleur logique programmable puissant mais intuitif, de fonctionnalités d'écran tactile et de paquets d'intégration de processus personnalisés pour un large éventail de processus tels que le nettoyage, PVD, CVD, Lithographie et etc. L'architecture ouverte du contrôleur offre un déploiement flexible, une évolutivité logicielle et une production robuste. SMIF-300FL est conçu pour faciliter l'accès et l'entretien, ce qui le rend sans effort pour installer des mises à niveau ou pour remplacer les pièces. Toutes ces caractéristiques ont fait progresser la machine de manutention des plaquettes à de nouvelles hauteurs et en font un choix imbattable pour l'industrie des semi-conducteurs. En conclusion, ASYST SMIF-300FL est une option fiable et puissante pour la manutention des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec son bras robotique 6 axes, ses 3 plaques de fond, son mandrin 3 axes, son architecture de sécurité robuste, son interface utilisateur intuitive et ses paquets d'intégration de processus, ASYST SMIF 300FL offre une solution efficace et économique de transport et de traitement des plaquettes.
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