Occasion ASYST SMIF-300FL #9008182 à vendre en France
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ID: 9008182
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Loaders, 12"
Part number 9750-2000-00 rev. 004
(25) Wafers
Currently crated
2001 vintage.
ASYST SMIF-300FL est un équipement de manutention de plaquettes haute performance conçu pour le chargement et le déchargement automatisés de plaquettes multiples pour le traitement dans les secteurs des semi-conducteurs et autres industries connexes. Le système de manutention automatisé est disponible en version manuelle et automatique, offrant une capacité de chargement à double zone. L'unité manuelle utilise un robot à un étage pour charger, transporter et décharger des plaquettes jusqu'à 300mm (12 pouces). La machine automatique utilise trois mécanismes robotiques, fournissant une variété de capacités de transfert, permettant le déplacement de plusieurs plaquettes dans la même zone. L'outil offre un débit et une précision élevés, avec une vitesse maximale du robot de 180 mm/s et une répétabilité de 1 μ m. La conception robuste est capable de manipuler une variété de tailles et d'épaisseurs de plaquettes jusqu'à 300mm (12 pouces) avec une capacité de poids allant jusqu'à 180g. Il présente également une conception peu contaminante, assurant une propreté constante et assurant la protection des produits. Cette faible opération de contamination permet de minimiser la production de particules lors de la fabrication de dispositifs sensibles. L'actif est conçu pour un entretien facile et la flexibilité. La conception à axes multiples permet un mouvement rapide et facile du robot et la capacité de rotation permet la rotation des plaquettes. La configuration standard permet un accès facile à tous les composants internes, permettant le remplacement des pièces pour réduire les temps d'entretien et de réparation. La capacité d'ajuster les paramètres d'entraînement permet d'automatiser le modèle pour répondre aux besoins spécifiques de l'utilisateur. ASYST SMIF 300FL est compatible avec la plupart des matériaux standard de l'industrie, y compris les substrats en verre à écran plat (FPD) et les plaquettes rigides. Il est également conforme à diverses normes mécaniques, y compris les normes JEDEC et IEC pour la manutention des plaquettes. L'équipement est conçu pour être intégré dans la plupart des installations de production et est capable de processus gazeux, y compris : refusion en phase vapeur, pulvérisation, polissage et implantation ionique. Ce système de manutention de plaquettes performant est capable de fournir un débit et une précision élevés pour la manutention de plaquettes multiples. Avec une conception robuste et une faible contamination, SMIF 300 FL est idéal pour les processus de production automatisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique.
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