Occasion ASYST VersaPort 2200 Shuttle #9043874 à vendre en France
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ID: 9043874
Style Vintage: 2004
Load ports
P/N: 9700-5384-02
Mounting kit
Power connect
2004 vintage.
La navette ASYST-Port 2200 est un équipement de manutention de plaquettes conçu pour le transfert de substrats de plaquettes de 2 à 8 pouces vers et à partir de positions de traitement ou de stockage. Sa conception innovante permet de protéger l'intégrité des plaquettes pendant le mouvement et offre également un accès inégalé aux supports de rangement des plaquettes. L'interface conviviale de ce système permet un accès facile aux programmes de wafer et à la configuration des tâches. Conçu avec une technologie d'inclinaison séquencée et un mouvement d'asservissement, le « Port 2200 » permet une position et une protection précises des pièces de plaquettes. Le bras de navette du Port dispose d'une unité à faible inclinaison, qui est conforme aux positions des bords des plaquettes et offre une protection supérieure aux pièces. La conception unique du bras de navette réduit également les vibrations, protégeant ainsi les plaquettes actives et sensibles lors des processus de transfert et de chargement. En outre, le Port 2200 offre une large gamme de compatibilité à ses utilisateurs. La conception de la navette permet un fonctionnement convivial et la possibilité d'accepter des capots de navette en plaquettes, ainsi que des gousses SMIF. ASYST SmartChip Ready Software fournit une communication intelligible de la fonction et de la configuration de la machine, permettant une configuration plus rapide des programmes de processus. Grâce à son module Pro-Activity, qui utilise des algorithmes sophistiqués pour s'assurer que les protocoles de sécurité sont respectés et observés régulièrement, la navette de l'aéroport 2200 offre également une sécurité supérieure pour les pièces de plaquettes. Le module Pro-Activity offre également plusieurs fonctions de protection des plaquettes, comme la protection contre les inadéquations de la hauteur des plaquettes de processus et des positions du programme. VersaPort 2200 fournit aussi la flexibilité incomparable, avec les ports de charge amovibles et les Accumulateurs, en tenant compte de la capacité de raccorder et débrancher avec d'autres machines pour les besoins de portabilité ou de flexibilité de processus. Les accumulateurs sont en mesure de surveiller tous les aspects des déplacements des plaquettes, y compris la température, l'inclinaison, l'humidité et les vibrations, puis de les ajuster en conséquence. La navette ASYST-Port 2200 est un outil de manutention innovant qui offre une précision, une flexibilité et une sécurité supérieures pour les plaquettes. Sa technologie à faible inclinaison et son interface conviviale permettent un transfert rapide et complet des substrats des plaquettes, tandis que le module Pro-Activity et les accumulateurs assurent un contrôle sûr et cohérent de l'environnement et de l'orientation des plaquettes. Ce gestionnaire de plaquettes est une solution idéale pour assurer une protection et une fiabilité supérieures en matière d'intégrité et de manutention des plaquettes.
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