Occasion ASYST VersaPort 2200 #9230186 à vendre en France

ASYST VersaPort 2200
Fabricant
ASYST
Modèle
VersaPort 2200
ID: 9230186
Taille de la plaquette: 8"
SMIF Loader, 8".
Le port ASYST 2200 est un gestionnaire de plaquettes sophistiqué conçu pour offrir une interface lisse et transparente entre le processus de fabrication des semi-conducteurs et l'équipement effectuant les tests nécessaires à la production finale des dispositifs semi-conducteurs. Le logiciel de fabrication de Wafer 2200 fonctionne en permettant le transport automatisé de wafers entre les différentes étapes du processus de fabrication des semi-conducteurs. Le port ASYST 2200 est composé de plusieurs composants principaux. Le premier composant de la carte de transport 2200 est un support, qui est un cadre modulaire pour le transport de plaquettes semi-conductrices. Ces supports sont munis de broches de centrage et peuvent être facilement couplés avec d'autres modules tels que cassette automatique, poste de travail chaud, poste de températures, etc.. Au cours du processus d'automatisation, les porteurs sont chargés sur des bras robotiques, qui déchargeront, transféreront et repositionneront des plaquettes dans le porteur. La deuxième composante d'ASYST VersaPort 2200 est le chargeur de cassette d'auto. Ce dispositif est conçu pour charger rapidement et de manière fiable des plaquettes à l'intérieur et à l'extérieur du support. Le chargeur auto-cassette a deux types de cassettes préconfigurées, qui peuvent être changées manuellement au besoin. En outre, le chargeur auto-cassette a des tailles de fente réglables pour accueillir diverses tailles et épaisseur de plaquettes, permettant jusqu'à 500 plaquettes à charger à la fois. Le troisième composant est le poste de travail à chaud, qui est conçu pour « saisir à chaud » et transférer des plaquettes à des températures spécifiques pour la fabrication et les essais. Le poste de travail à chaud utilise un laser à haute intensité focalisé sur la plaquette pour les transférer rapidement, avec précision et fiabilité. En outre, le poste de travail à chaud a une plage de température réglable de 0 à 1000 degrés Centigrade, pour accueillir des plaquettes à différents degrés de température. Le quatrième composant de la centrale 2200 est la station de température, qui sert à stabiliser la température des plaquettes avant la fabrication ou les essais. La station de température se compose de deux segments, une chambre de régulation de température et un collecteur de réfrigérant. La chambre de régulation de température a une plage de température réglable de -100 à + 100 ° C, ce qui contribue à maintenir une température constante des plaquettes. Le collecteur de refroidissement est conçu pour fournir des gaz cryogéniques de refroidissement ou de traitement thermique à la plaquette, permettant un réglage précis de la température de la plaquette. La dernière composante d'ASYST VersaPort 2200 est le module de robot. Ce module a la capacité de porter 1 à 12 plaquettes à la fois, permettant de tester une capacité maximale de 600 plaquettes. Le module de robot tient compte de la capacité automatique de VersaPort 2200 et de la capacité de transférer et replacer les gaufrettes dans le processus de fabrication de semi-conducteur. De plus, le module robot a la capacité de détecter les erreurs au cours du processus de transport et de les signaler pour suite à donner. Dans l'ensemble, le port ASYST 2200 est un gestionnaire de plaquettes fiable et efficace qui optimise le processus de fabrication des semi-conducteurs. VersaPort 2200 a la capacité des gaufrettes vite et exactement de transport selon la température. De plus, le port ASYST 2200 aide à maximiser le débit des essais et de la fabrication des plaquettes.
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