Occasion BAUMANN WHO RvO #9091901 à vendre en France

Fabricant
BAUMANN
Modèle
WHO RvO
ID: 9091901
Wafer-handling line for oxidation furnace Long flat, half pitch, (5) tubes Output: up to 4,000 Wafer/hr Breakage rate:  0.1% Wafer formats: 156 x 156 mm Loading type: Front-to-Back (FTB) 6-Axis robot technology Integrated machine data logging (MDL).
BAUMANN WHO RvO est un gestionnaire de plaquettes avancé conçu pour une intégration transparente dans les systèmes de traitement automatisé des plaquettes. Il est construit pour manipuler des plaquettes de 300 mm de diamètre avec un diamètre de 12 pouces. L'unité est un équipement de manutention de plaquettes très avancé et précis et comprend une unité de base inclinée réglable avec une hauteur totale de 101mm. Le système de manutention de la plaquette comprend un bras robot avec commande d'angle double axe avec commande de trajectoire complète avec jusqu'à 20 mouvements par cycle. Il comprend également un support d'embrayage pour assurer un bon alignement de la plaquette pendant le processus de manutention. L'unité est équipée d'une machine de vision unique qui peut détecter et reconnaître jusqu'à 30 plaquettes et régler automatiquement l'inclinaison et l'angle du bras du robot pour une manipulation précise des plaquettes. L'outil RvO de l'OMS est équipé d'une plaquette, d'une unité de rejet et d'un chargeur. Le chargeur est réalisé avec une plate-forme cylindrique 3D qui pousse la plaquette en place avec une pince et la maintient en place pendant le processus de manutention de la plaquette. L'actif comporte également un aligneur de plaquettes qui organise soigneusement les plaquettes pour assurer la continuité des lots. La taille de la plaquette permet un tranchage précis des plaquettes dans les textures et la forme souhaitées. L'unité de rejet est ajustée pour éviter de risquer la contamination car elle élimine les plaquettes non qualifiées sans causer de contamination supplémentaire. BAUMANN WHO RvO est conçu pour faciliter l'utilisation et l'entretien. Le modèle est capable de reconnaître et de s'adapter aux dysfonctionnements qui peuvent survenir pendant le processus de manutention des plaquettes afin de réduire les temps d'arrêt et les risques de dommages à toute autre partie de la machine. L'équipement comprend également un système d'échange à distance (SER) qui permet le diagnostic à distance et l'entretien efficace de l'unité en cas de problèmes techniques. En conclusion, OMS RvO est une machine de manutention de plaquettes très avancée conçue pour une manipulation précise, fiable et cohérente des plaquettes de 300 mm de diamètre dans les systèmes de traitement automatisé des plaquettes. Son outil de vision unique, sa base inclinée réglable, son bras robot avec commande d'angle à double axe et sa taille de plaquette, son unité de rejet et son chargeur en font le choix idéal pour un traitement efficace et précis des plaquettes.
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