Occasion BROOKS AquaTran #158153 à vendre en France

Fabricant
BROOKS
Modèle
AquaTran
ID: 158153
Robots and controller for NOVELLUS.
BROOKS AquaTran est un gestionnaire de plaquettes de pointe. Il est conçu pour manipuler des plaquettes de toute taille jusqu'à 200mm x 200mm. AquaTran dispose d'un mécanisme de transfert à faible force et à faible angle, ainsi que d'une conception ergonomique compacte. L'équipement dispose d'un environnement d'exploitation entièrement fermé conçu pour protéger les plaquettes contre la poussière, l'eau et d'autres contaminants. L'enceinte permet également d'assurer une gestion thermique et de minimiser les niveaux de bruit. L'environnement est scellé et sous pression, ce qui permet au système de fonctionner sous vide aussi bas que 1 Torr, ainsi que d'autres environnements de fonctionnement non sous vide. BROOKS AquaTran est équipé d'une serrure à vide pour minimiser le temps de manipulation des plaquettes et les protéger de la contamination de l'environnement. Il est également équipé d'un moniteur de charge électrostatique capable de détecter toute fuite de charges électrostatiques émises par les plaquettes. La machine est conçue pour assurer un traitement rapide et efficace des plaquettes. Il dispose d'un outil de positionnement de haute précision et d'un outil d'asservissement à trois axes, ainsi que d'un modèle de positionnement automatisé qui assure un alignement et un placement précis des plaquettes. En outre, il est équipé d'un équipement de débit de gaz sophistiqué pour le processus propre, basse pression et le chargement des plaquettes. AquaTran est optimisé pour les procédés à température contrôlée et les systèmes de lithographie. En outre, il peut être programmé pour contrôler directement l'ensemble du système de lithographie, réduisant considérablement le temps de traitement manuel. L'unité est compatible avec les technologies de manutention et de transfert de plaquettes les plus avancées, ce qui lui permet de s'intégrer à pratiquement n'importe quelle unité de production. En outre, il est capable de communiquer avec d'autres systèmes, tels que les ordinateurs hôtes. Cela garantit une intégration transparente entre BROOKS AquaTran et d'autres systèmes. Enfin, la machine est extrêmement fiable, avec un temps moyen avant défaillance supérieur à 4000 heures. Cela garantit un débit, un rendement et un contrôle de qualité maximaux.
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